中古 NIKON NSR SF130 #9391655 を販売中

NIKON NSR SF130は、集積回路（IC）などの複雑なマイクロエレクトロニクス機器の製造において、パターニング層に不可欠なウェハステッパーです。それは2つの主要な要素から成っています：投影光学および段階。プロジェクションオプティクスは、精密な線形ステージに取り付けられたレンズで構成され、ウェーハ表面に画像を投影する役割を担っています。この投影光学系はさらにX方向とY方向に移動する段階に位置しています。また、エンコーダを使用してステージの動きを測定し、制御機器にフィードバックを提供します。NIKON NSR-SF130ウェーハステッパーは、高解像度と高精度を確保するためにクラス最高の機能を採用しています。0。97 NAの優れた投影光学レンズシステムを誇り、高い切れ味と直線性、0.75µm以下の効果的な解像度を提供します。さらに、プロジェクションレンズとウェーハの両方に対応する堅牢な保護ユニットと、高いスループットと安定したスループットのための対流冷却を備えています。NSR SF 130には、ステージの投影画像と照明スポットサイズがすべての位置とほぼ同等であることを保証するために、二重線フィールド均一校正機が装備されています。さらに、プロジェクションレンズにはカスタムメイドのマウントスタビライザーを装着することで、収差をなくすことができ、ウェーハ表面の完璧なパターニングが可能になります。このウェーハステッパーは、高い精度とスピードを実現するウェーハアライメントツールを提供するため、コストに敏感な生産環境に最適です。さらに、露出設定の広い範囲は、画像ジェネレータやフォトマスクの範囲と互換性があります。最後に、このウェーハステッパーは、高いスループットを確保し、集積回路の層を正確にパターン化するためのクラス最高の機能を備えており、ICの生産におけるフロントランナーとなっています。