中古 NIKON NSR SF130 #9389330 を販売中

ニコンNSR SF130は、高いスループット、高い歩留まり、信頼性の高い性能を実現するために設計された、高度な全自動ステップおよびリピートリソグラフィ装置です。SF130は、シリコン、石英、ガラス、セラミックなどの様々な基板に高解像度パターニングを伝達するために設計された専用ウェハステッパーです。最大基板面積は200mm×200mm、フィールドサイズは13mm×13mmで、SF130は幅広いウエハサイズとマスクサイズに対応できます。このシステムには、自動フォーカスおよびアライメント機能と高度な透明検出ユニットが付属しています。SF130のイメージングオプティクスは、パターンレイアウトを正確かつ正確に低減するために特別な構造と高性能光学を備えています。また、NIKONスーパーマルチレイヤーコーティングを施したプロジェクションレンズを採用し、優れた解像度、コントラスト、レーザーマーキング精度を実現しています。さらに、露出制御機は、露出均一性と高速スイッチング時間をスムーズにするための高速NDフィルタを備えています。SF130は、主要コンポーネントを監視し、トラブルが発生した場合に警告する自動メンテナンスツールを使用して、最適な稼働時間と信頼性を実現するように設計されています。このアセットには直感的なユーザーインターフェイスもあり、半自動操作を含むさまざまな生産環境に対応するために簡単にカスタマイズできます。それはまた、ユーザーの要件に合わせて調整することができる追加機能やオプションの広い範囲を持っています。このモデルは、さまざまな通信ポートやデータインターフェイスを介して、さまざまなアプリケーションで簡単に統合できます。NIKON NSR-SF130には、低歪みの光学パターンセンシングヘッドと大規模な登録テーブルを利用した、NIKONの高度なウェハ登録機器が付属しています。これにより、基板位置の変化を追跡および修正できます。NSR SF 130は、あらゆる用途に適した高品質のマイクロリソグラフィの効率的で正確かつ信頼性の高い生産を目指して設計された、先進的で高性能なウェーハステッパーです。信頼できる光学、NDフィルター、自動化された維持の単位、直観的なユーザーインターフェイスおよび高度の登録機械によって、SF130はあらゆるリソグラフィの条件のための有効で、有効な解決です。