中古 NIKON NSR SF130 #9383073 を販売中

NIKON NSR SF130は、半導体製造のプロフェッショナルに人気のある信頼性と汎用性の高いウェーハステッパーです。このシングルフィールドスキャニングウェーハステッパーは、直径6インチまでのウェーハ上で高精度で高解像度のマイクロリソグラフィーパターンを作成することができます。内蔵のNIKON NSR光学システムを採用し、軸外照明で設計され、高性能で歪みを解消するワンステップカタジオプリック対物レンズを採用しています。ワーキングエリアが広いため、より大きな基板を加工することができ、完璧なアライメントで最大8カセットのウェーハを収容することができます。NIKON NSR-SF130には最先端の部品が搭載されており、マイクロリソグラフィープロセスの精度と信頼性を確保しています。統合された高速数値パターンジェネレータは、ウェーハ位置決めのX、 Yステージを正確かつ正確に制御し、高い経済性能を実現します。精密スキャン速度は最大20 μ m/秒、精度は± 0。25 μ mです。このマシンは、高速XYステージと高度なモーションコントロールを組み込むと同時に、より高い露出時間を可能にします。NSR SF 130は、学習と使用が簡単な直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。これにより、ユーザーはパターニングプロセス全体を簡単に制御および監視できます。高解像度イメージングと露光パターンのプレビューが特徴です。また、カスタムパターニングのためのピンホール、自動アライメント、可変焦点位置、および可変露光時間も選択できます。NSR-SF130は設計および高度の特徴の優秀な性能を提供します。マイクロリソグラフィー用途向けの信頼性が高く、堅牢で費用対効果の高いツールです。小型基板の精密パターニングなどの要求の厳しい作業や、研究、試作、生産などの一般的な用途に適しています。NIKON NSR SF 130は、精密かつ先進的な技術により、幅広いウェーハ加工プロセスに最適です。