中古 NIKON NSR SF130 #9357746 を販売中

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ID: 9357746
i-Line stepper, 12" 2005 vintage.
ニコンNSR SF130は、フォトリソグラフィの精密解像度で有名な最先端のウェーハステッパーです。複数の基板や材料でフォトリソグラフィ印刷を行い、さまざまな製品を簡単に製造できます。この最先端のウェーハステッパーは、正確なパターン詳細でも正確で信頼性の高いパフォーマンスを提供し、小回りで複雑なパターンを生成するように特別に設計されています。NIKON NSR-SF130は、0。45nmという極めて高い解像力を発揮する革新的かつ先進的なレンズ装置を採用し、パターン形状やサイズを正確に制御します。高度なレチクルシステムを使用して、ステッパーは、正方形や長方形、円、六角形、複雑なパターンを含む、サイズや形状の広い範囲をサポートすることができます。この機能により、複雑なパターンであっても柔軟性を高めることができ、NSR SF 130は小さなランと微細なサーフェスフィーチャーでのパターン作成に最適です。NSR-SF130はコンパクトな設計を備えており、あらゆるセットアップに簡単かつ効率的に統合できます。スキャン電子およびイオン顕微鏡システム、EDXおよびOIMシステムを含むほとんどの標準的なステップおよび装置と互換性があります。この互換性により、ユーザーは簡単にデータにアクセスし、検査を行い、他の操作を行うことができます。ステッパーには高精度の露出開始ユニットが搭載されており、電動ステージを使用してナノメートルの精度で必要な基板露出を実現しています。露出開始機械および作り付けの露出コントローラーを通して、ユーザーはあらかじめ定義された区域への露出を提供できます、または完全な露出区域に、露出を微調整することを可能にします。NSR SF130のユニークな機能は、高精度の露出開始ツールと露出コントローラを組み合わせることで、非常に信頼性が高く強力なフォトリソグラフィーステッパーになります。高度なレンズ資産、自動露出制御、パターニング機能の柔軟性により、小回りで繊細なパターンを作成するのに最適です。
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