中古 NIKON NSR SF130 #9311380 を販売中

ニコンNSR SF130ウェーハステッパーは、半導体の生産をサポートするために設計された先進的なリソグラフィ装置です。精密ステージモーションを用いた先進的な光学イメージングユニットを提供し、半導体ウェーハ上に高解像度の機能を提供します。NIKON NSR-SF130は、NA 0。25の減光プロジェクションレンズと最大0。6の高数開口レンズを備えた先進的なイメージングツールで設計された6インチのリソグラフィ装置です。アセットはダイナミックステージモジュールを使用して、最大1mmの大きなステージムーブメントをサポートします。これにより、モデルは広範な運動範囲を通して焦点を維持することができます。イメージプレーン、スリット、フォーカス検出は、高精度レーザー干渉計を内蔵し、効率的なウェーハの位置決めとリソグラフィを可能にします。この装置は、マスクの取り扱いとシミング時にタスク固有の精度を確保するために、標準のペリクルローダーとマスキングシステムを提供しています。NSR SF 130は、高度なインテリジェンスと統合されたNCアプリケーションを備えた直感的なNCコンピュータユニットを備えた高度な制御ユニットを搭載しています。このマシンには、正確なパターン作成と正確な登録を可能にするオートアライメント機能とオートフォーカス機能が含まれています。さらに、このツールは自動フレーム補正をサポートし、マスクの位置決めを向上させます。このアセットは、0。5-8um、深紫外線、深X線、可視光、およびさまざまな高度な技術を含む複数の露光技術をサポートしています。解像度は0。1um以上で、最大6インチのウエハサイズで高速生産が可能です。さらに、このモデルは、すべての段階で一貫したリソグラフィーパターンを確保するための事前のプロセスマッチングを提供します。NSR-SF130ウェーハステッパーは、半導体生産の信頼性と効率性の高い基盤を提供します。高度なイメージング装置と精密な制御により、高精度で高速な高解像度リソグラフィをユーザーに提供します。その複数の露光技術とさまざまな高度なリソグラフィ技術のサポートにより、中量から大量の半導体製造設備に最適です。