中古 NIKON NSR SF130 #9289676 を販売中

NIKON NSR SF130
ID: 9289676
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Stepper, 12" RH Rotation arm motor WH Load slider Wafer l/F error DS10 GPIB Board DIGI board PIEZO Interface board WH Robot FW Robot WH Robot controller LC Relay amp: 2-1 Blind YU motor LC Relay amp: 1-3 LC Relay amp: 4-1 LSA Laser missing 2005 vintage.
ニコンNSR SF130ウェーハステッパーは、マイクロエレクトロニクス業界向けに特別に設計されたステップおよびリピートマシンの一種です。NIKON NSR-SF130は、高度な光学機器を使用することにより、単一または複数の基板ウエハの表面に多様な画像パターンを直接正確に露出、整列、追跡することができます。NSR SF 130ウェハステッパーを使用する主な利点は、その極めて精度と精度です。この精度により、ステッパーは人間の髪の毛の10分の1のサイズまでの解像度で画像パターンを正確に露出、整列、追跡することができます。ステッパーには高いスループット率があり、非常に短時間で大量の基板を素早く正確に露出することができます。NIKON NSR SF 130には、高度な自動アライメントシステムも搭載されています。この自動化されたアライメントユニットは、ウェーハを正しい位置に素早く正確に移動させることにより、露出するウェーハ層の位置の誤りを修正します。これにより、手作業によるアライメントに時間がかかりなくなり、スループットレベルが向上します。さらに、NSR-SF130は、画像パターンの最小偏差を検出することができる超高精度アライメントマシンを内蔵しているため、各露出においてはるかに高い精度を提供するように設計されています。これにより、最も複雑な画像パターンでも基板上で正確に再現できます。NSR SF130には、帯電防止ツール、マルチステージオートシャットオフ、電流保護およびオートリセットなど、いくつかの高度な安全機能も装備されています。これらの安全機能により、基板が危険な場所や過度の温度にさらされないようにし、損傷から保護します。全体として、ニコンNSR SF130ウェーハステッパーは、高度で信頼性の高いステップおよびリピート資産です。可能な限り最高の精度と精度、高いスループット率、高度な安全機能を備えており、マイクロエレクトロニクス業界に最適です。
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