中古 NIKON NSR SF130 #9247821 を販売中

NIKON NSR SF130は、半導体デバイスの製造に使用される高精度ウェーハステッパーです。高精度なアライメントと分解能により、プロセスの歩留まりを最大限に高め、優れた製品品質と低コストのオーナーシップを提供します。NIKON NSR-SF130は、NIKON NEXACTシリーズの重要な部品であり、活性電子部品、薄膜トランジスタ、CIS、レジスト、CCDなどの電子部品の製造に使用されています。NSR SF 130の最大分解能は0。9nmで、デバイスのアライメントと処理を非常に正確に行うことができます。また、高いスループット率を実現し、大規模生産に最適です。機械の電動ステージは、0。25 μ mの位置決め精度で最大400mm/sの線形速度と150mm/sのピーク加速が可能です。これにより、ワーク上のマイクロデバイスの迅速かつ正確な位置決めが保証されます。また、高精度ポリマーベアリングステージ（PBS）を採用し、振動減衰特性に優れたスムーズで信頼性の高いウェーハハンドリングを実現し、ウェーハアライメントの制御に優れています。高度な光学系は、高い再現性を備えた優れた画質を提供します。AFAS （Advanced Focus Algorithm System）は、フォーカス設定を所定のレベルに調整し、目的の画像に応じて調整を行い、フォーカス調整時間を短縮します。NIKON NSR SF 130は、クリーンルーム対応のカバーも備えており、高精度で汚染のない加工やレーザー加工に適しています。さらに、ウェーハアライメントセンサーと統合スキャン処理を備えており、生産ラインに直接組み込むことができます。さらに、ビームツービーム冗長性とサブミクロンアライメント機能を備えており、生産歩留まりを向上させます。全体として、NSR-SF130は高精度で信頼性の高いウェーハステッパーであり、高いスループットレートで優れたデバイス品質を生み出すことができます。高解像度のアライメントおよび分解能により、使いやすさと迅速なセットアップ時間が確保され、振動減衰特性と統合スキャン機能がさらに機能を強化し、あらゆる半導体製造設備に貴重かつ重要な付加価値をもたらします。