中古 NIKON NSR SF130 #9244051 を販売中

NIKON NSR SF130は、半導体リソグラフィに使用される高性能ウェーハステッパーです。半導体デバイスの大量生産に最適で、持続的な動作が可能です。ステッパーは、0。6〜5。6マイクロメートルの解像度の数値コンデンサ（NC）レンズを使用して動作します。反復精度は+/-4nm、線形速度精度は+/-0。004mmです。また、スムーズでラグのないドライブ装置を備えており、高スループットのアプリケーションで精度を維持します。NIKON NSR-SF130は、上下ヘッド方式のスイングアームアライナー方式で設計されています。これにより、揺れや振動によって引き起こされる機械的ストレスを軽減しながら安定性を提供します。プロセスの各段階は高精度を保障するレーザー光線と制御されます。ステッパーには、NIKON CMOSセンサーとAdvanced Data Processing Unitも搭載しています。これにより、露出データと完全なウェーハ分析に対するリアルタイムのフィードバックを提供できます。機械はまたイメージが鮮明、十分定義されていることを保障するのを助ける自動焦点を合わせることができる。ステッパーにはNIKON Dimsite Management Softwareも装備しています。これにより、ユーザーはマシンの設定を管理するための直感的なインターフェイスと、一貫した結果を得るためのレシピを提供します。さらに、このツールはファイルストレージと編集機能を提供します。NSR SF 130は、さらにパフォーマンスを向上させるためのパッシブ冷却アセットを備えています。これは自己調整プラテンによって補完され、高いレベルの安定性と精度を確保するのに役立ちます。ステッパーには、自動照明モデルやさまざまなアライメントセンサーなど、さまざまな製品があります。NSR SF130は全体的に、半導体の大量生産のための優れたウェーハステッパーです。生産プロセスの精度と信頼性を確保するためのさまざまな機能が付属しており、直感的なソフトウェアにより、機械の操作が簡単になります。