中古 NIKON NSR SF130 #9243127 を販売中

NIKON NSR SF130ウェーハステッパーは、幅広い半導体デバイス製造加工アプリケーション向けの性能を備えた高精度、超高速リソグラフィ装置です。このシステムは、広いダイナミックレンジにわたって50nm以下の分解能を提供することができ、プロセスコストを最適化した高性能、高密度デバイスの生産を可能にします。パターン化されたウェーハで最高品質のイメージングを提供し、歩留まりとデバイス性能を向上させるために必要なスループットと生産性を提供します。NIKON NSR-SF130は、1つの材料で1時間に最大5,000ウェーハ、複数の材料で最大8,000ウェーハまで、非常に高いスループットを提供します。また、高速なNDアライメントと露出を提供し、複数のウェーハアライメントを一度に実行することができます。このユニットは、露出設定とプロセス最適化設定を調整し、リアルタイムで生産パフォーマンスを最適化するための高速データ取得機能を備えています。NIST Quantum Deflection Multiple Subfield Algorithm （QDMSA）は、最適化されたイメージング性能を実現し、AutoMatch Imaging Technologyはアライメント時間を短縮し、高精度のウェーハステッチを提供します。ステッパーはフレキシブルストラクチャリングテクノロジーを備えており、可変線幅機能を提供し、困難な3D領域でもパターンを正確に配置するために、オーバーハングやさまざまな線角の作業をサポートします。また、超高解像度のNGREELEXを採用し、ラインエッジの粗さを排除し、高性能な超微細デバイスの生産を可能にします。NSR SF 130は、長期間にわたる連続運転のために構築された汚染防止構造により、長期的な生産運転に優れた安定した生産性能を提供します。振動を最小限に抑え、高速で正確なアライメントと露出を実現するデジタルサーボ制御を提供します。また、NIKON Smart Chip技術を搭載しており、フォーカス、線量、露出設定などのパターンベースのパフォーマンスを統合して動作および監視します。NSR SF130資産は、半導体の大量生産ラインでの使用に最適であり、半導体デバイスの開発の需要の増加と複雑さに対応する革新的なソリューションを通じて、優れた性能を提供します。