中古 NIKON NSR SF130 #9237550 を販売中

NIKON NSR SF130は、厚いウエハーとフラットパネルディスプレイの高度なレビューのための多分野、高精度のダイツダイ（D2D）ステッパーです。NIKON NSR-SF130は、高度な12等級と15等級のデュアル・マルチフィールド・レンズを備えているため、要求の厳しいフォトリソグラフィ用途において優れたイメージング性能を発揮します。この装置は、75mm x 75mmイメージングエリア内の任意の点で単一のパターン化されたフィールドを露出することができ、2秒以内に2つの設定フィールドを切り替えることができます。高速ステップとスキャンモードを選択することにより、このステッパーは1時間に3〜6個のウェーハを配置でき、8インチまたは12インチのウェーハサイズを1/3の削減領域でサポートできます。このシステムは、リニアエンコーダ、フォーカス、およびオンザフライフォワードバックワードスキャン制御により、微細なアライメント精度を実現します。また、優れたオーバーレイアライメント精度を確保し、ミスアライメントリスクを低減する自動アライメントユニットを備えています。また、リニアモータを搭載した高精度ステージと温度制御環境を採用し、イメージング精度を向上させています。NSR SF 130には、基板スリップ防止用の真空チャックとリテーナーが搭載されており、ウェハの周りからフォトマスクを正確に露出して転送することができます。このツールは、化学増幅や酸化熱などのさまざまなフォトレジストを使用することができ、転送中にウェーハの汚染を防ぐことができます。NIKON NSR SF 130は、緊急停止ボタンやワンタッチリセット、自動復旧機能、オートシャットダウン機能など、堅牢な安全機能を備えています。このアセットは、低メンテナンスで操作しやすい制御モデルを使用しており、キックスタートの高速化、メンテナンスの簡素化、および入力トレーサビリティによるダウンタイムの削減を可能にします。NSR-SF130は、高度な光学系と革新的な設計を組み合わせ、最大のプロセス制御と効率的なウェーハ処理装置を提供します。このステッパーは、包括的なアライメントや軽いリーク検出などの高度な機能を活用し、タイトな精度レベルとシングルウェーハ露出機能により、高い生産歩留まりを実現します。NSR SF130は現在、分野をリードしており、半導体・フラットパネルディスプレイ製造、ライフサイエンス研究、精密イメージングなど、さまざまな分野に応用されています。