中古 NIKON NSR SF130 #9222618 を販売中

NIKON NSR SF130は、精密なウェーハ処理能力を提供するために設計された洗練されたウェーハステッピングツールです。この洗練されたステッパーは、フォーカスアライメント、オーバーレイアライメント、露出など、さまざまな重要な機能をサポートします。NIKON NSR-SF130では、さまざまなウェーハ加工用途において、優れた精度と再現性を提供するステッパー技術を採用しています。露出制御とフォーカシングの精度は、ウェーハを所望の位置のナノメートル内に正確に配置できるオートステアリング2軸ステージによって達成されます。内蔵のアライメント装置は、パターン認識構造を利用して、露出ターゲットを非常に近くに配置しても、ウェーハのパターン化された領域を正確に整列させます。このSF130は、高度な露光システムにより、高レベルのスループットを達成することができます。露出ユニットは、ウェーハ全体に均一な露出を確保する2つの独立したソースを備えています。このマルチソースマシンは、時間共有、複数のビーム、シングルカプラー、クワッドCMOS露光技術など、さまざまな波長と照明タイプをサポートしています。露出ツールは、サイクルタイムの半分で出力を2倍にするデュアル同時露出機能でさらに強化されています。NSR SF 130ウェーハステッパーには、XY依存のオートフォーカス資産が統合されており、優れたフォーカス制御が可能です。Auto-Focusモデルは、エッジ検出とグラデーションベースのテクニックを組み合わせた独自のアルゴリズムを使用して、最適な露出フォーカスを自動的に決定します。この機器には、オートフォーカス性能をさらに最適化し、望ましい露光フォーカスからのマイナーオフセットを補償する革新的なアクティブなアウトフォーカス制御も含まれています。NIKON NSR SF 130は、優れた精度、再現性、およびウェーハ処理のスループットを提供する最先端のウェーハステッピングツールです。このツールは、高精度と再現性を必要とする半導体リソグラフィー用途に強力で信頼性の高いソリューションを提供します。汎用性の高い露光システム、統合されたオートフォーカスユニット、高度なアライメント機能により、SF130は要求の厳しいプロセスに最適です。