中古 NIKON NSR SF130 #9207085 を販売中
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ID: 9207085
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
i-Line stepper, 12"
Reticle, 6"
Wavelength: 365 nm
Surface illumination (Standard): 1000 [mW/c m]/more
Reduction ratio: 1 : 4
Throughput:
FIA-EGA: 120 Wafer/hour or more
LSA-EGA: 96 Wafer/hour or more
Step pitch:
25 nm x 33 mm
76 Shots (Wafers, 12")
Exposure amount: 90 mJ/c m²
Resolution: 280 nm / Less
Alignment accuracy: 35 nm / Less (M+ 3σ)
Lighting NA:
I-NA: 0.43 CONV
I-NA: 0.36 CONV
I-NA: 0.50 2/3Ann
Projection lens NA: Variable 0.50~0.62
VRA Angle / Exposure range (Scan field): 26 x 33 mm, 25 x 33 mm
Wafer alignment: FIA/LSA
LC Control: Adjust only 25 x 33 mm
2004 vintage.
NIKON NSR SF130は、半導体ウェーハ上の高度で高密度なデバイスの製造に使用される高性能、高精度のウェーハステッパーです。高解像度の大面積イメージスキャンとパターンアライメント装置、高度なステップスキャン制御機構、均一で正確な露出を保証するユニークな露出制御システムを使用しています。NIKON NSR-SF130は、ウェーハハンドリング機能と広範なフィールドサイズの最適な柔軟性のためのモジュラー設計プラットフォーム上に構築されています。非常に高速なスキャンが可能なリソグラフィックスキャンステージを備えており、検出精度は0。0025mmで、大型金型製造用のフィールドサイズは5インチから12インチ（ラインペア）です。ステッパーは、5mピクセルカメラ機とシャッターボア径65mmの高度なウェーハアライメント精度で、最適な画質を確保するために高度な画像転送ユニット（ITS）を備えています。制御ツールは、高度なイメージングのための照明およびオートフォーカス部品を備えた単一ユニットとして機能します。NSR SF 130は、独自の露出制御資産である長反射光源を活用し、均一で高精度な露出を実現しています。それは高度なリソグラフィーパターン認識と最適化を可能にする高度なダイシングとリソグラフィー命令とともに、優れたフィールド平坦性を持っています。ステッパーは円筒形レンズを備えており、Y軸のアスペクト比モデルとアライメントを利用して高い均一露出を実現しています。高度なステージコントロール装置は、正確なウェーハアライメントのためのフィールドセントリングと、均一な露出のための強化された回転アライメントを備えています。NIKON NSR SF 130は、高度なコンピュータプラットフォームを搭載しており、高性能で低メンテナンスを保証する堅牢なオペレーティングシステムとソフトウェアを備えています。このソフトウェアには、クラス最高のアライメントユーティリティとパターン認識機能が含まれています。さらに、露出制御ユニットは最適な効率を確保し、最大0。12umサイズのライン/スペースを正確に露出できます。また、最適化されたステージ統合、フラットなフィールド精度、画質の向上、広いフィールドサイズなど、新しい露出制御技術も備えています。NSR SF130はSEMI SECS-IIの認証を受けており、SEMI PV2-0375に準拠しています。これは、高度なリソグラフィ処理のための効率的で信頼性の高いウェーハステッパーです。
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