中古 NIKON NSR SF130 #293655222 を販売中
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NIKON SF130は、半導体ウェーハ加工に使用されるミッドレンジウェーハステッパーです。これは、チップ生産、フォトマスク生産、および高度なデバイス包装で広く使用されている生産設備の絶賛されています。NIKON SF 130は、標準スキャンフィールドサイズが5。9インチ（150） mm、最大4。95マイクロメートルのステップで測定されます。これは、露出フィールドサイズ、平坦度、およびスキャンフィールド全体にわたる解像度の高い均一性を提供します。25mmの歪み補正と10mmのオートフォーカス機能を備え、ウェーハの高精度で信頼性の高い光学スキャンを可能にします。SF130は、高速Linacを搭載したステップアンドスキャンシステムです。その源は、波長532nmのクリプトン（Kr）イオンレーザーです。このレーザーは幅広いパワーレベルを備えており、最大100 um/Secまたは最大20 X/sのスキャンが可能です。高精度で高解像度のイメージングを可能にする28.5kV電源を搭載しています。さらに、ステッパーが個々のレイヤーに同時に正確に焦点を合わせることを可能にする超精密な干渉オートフォーカスシステムを備えています。標準的な機能に加えて、SF 130には4X3X3M分解能と広い視野を備えた高性能な光源が組み込まれており、一貫した光出力を実現しています。さらに、ArFリソグラフィ用の様々な180nm DUVオプションと、高度なデバイス包装用のIライン機能を提供することができます。さらに、このシステムは優れた5サイクル/時間のスループットを備えており、単一のジョブで最大200の線量レベルを実行できます。要するに、NIKON SF130は、チップ生産、フォトマスク生産、および先進的なデバイス包装に広く使用されている信頼性が高く、可能なウェーハステッパーです。5。9インチ、25mm歪み補正、10mmオートフォーカス機能、クリプトンイオンレーザー、28.5kV電源、4X3X3M解像度、広い視野の最大スキャンフィールドサイズを提供します。また、様々な180nm DUVオプションを提供することができ、5サイクル/時間のスループットが印象的です。
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