中古 NIKON NSR SF130 #293630223 を販売中

ニコンNSR SF130は、高性能集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品の製造において、リソグラフィ処理に使用される特殊ウェハステッパーです。可変形状ビーム（VSB）や選択焦点/非選択照明（SFI/NSI）などの高度で高度なスキャン方法を使用して、露光後の解像度を最大化し、パターン忠実性を向上させ、正確なパターン転送を保証します。NIKON NSR-SF130はプログラマブルスキャンステージを採用しており、リソグラフィーマスクと基板の移動と位置決めを大幅に柔軟に行うことができます。このスキャンステージは、0。05 mの位置決め精度（X、 Y、 ）で最大8インチウェハに対応 ます。スキャンの再現性も0。1 μ mで非常に優れています。ステッパーには、レーザーのパワーと露光時間を正確に制御する高精度の線量制御装置と、基板の平坦性と平行性を維持する真空チャックシステムが装備されています。さらに、NSR SF 130には、マスクの熱膨張による収差を低減するクローズドループ・レギュレータ・ユニットがあり、高解像度プリントが保証されています。NSR SF130は、その優れた精度と性能に加えて、非常に効率的です。内蔵の高精度ウェーハアライメントマシンにより、セットアップ時間の短縮と生産性の向上を実現し、露出プロセス全体でウェーハの位置を監視および調整する最適化されたフォーカス制御ツールを提供します。さらに、熱拡散レーザーシールモジュールは、アセット内の熱放射を大幅に低減し、全体的なモデルの安定性を高めます。全体として、NSR-SF130は非常に高度で強力なウェーハステッパーで、最高の精度とスピードで高解像度プリントを提供できます。NIKON NSR SF 130は、高精度なスキャンステージ、ウェーハアライメントシステム、最適なフォーカスコントロールユニットを内蔵しているため、最高品質の集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品の安全かつ迅速な製造に最適です。