中古 NIKON NSR SF130 #293589675 を販売中

NIKON NSR SF130
ID: 293589675
ヴィンテージ: 2005
i-Line stepper 2005 vintage.
NIKON NSR SF130は、最も効率的な方法で最高品質の半導体デバイスを製造するために特別に設計された自動ウェーハステッパーです。この製品は、最新の光学技術とメカニクスを組み合わせており、最高のショット機能と一貫した結果を提供します。SF130は2つのコンデンサーレンズで構成された光源を内蔵し、高効率な出力を実現しています。また、シャッター付きのハロゲンランプを搭載し、システムの均一な照明を提供します。ステッパーのプロジェクターレンズは4「-8」ウェーハの範囲の4。6 μ mの打撃の正確さを可能にします。また、NIKON NSR-SF130には1軸ステージと手動ウェハローディングが搭載されています。ロータリーアクチュエータのない自動アライメントユニットとともに、剛性と平坦度の精度を考慮して設計されたウェハチャックを備えているため、基板の材料の蓄積や傷がなくなります。SF130の特許取得済みの化合物光学機械は、ミクロンレベルのパターンの精度と再生を可能にします。ステッパーのスクリーン曲率はテンプレートと同じように設計されており、ショットのフレームレートが容易になります。形状やパターンの投影に高コントラストを利用し、均一な露出フィールドを持ち、高コントラスト画像高さの高精度画像を実現します。さらに、ステッパーは、最適化された画像解像度のためのオートフォーカスを備えており、幅広い基板サイズにわたって低抵抗を可能にします。NSR SF 130はさらに、診断機能を強化した最新のユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスを提供します。ステッパーは、合理化された校正方法、メンテナンスの容易さ、および電子機器に対応することができます。高精度で高いスループットを実現する高度なコントローラを内蔵しています。全体として、NIKON NSR SF 130は、高効率で高度なウェーハステッパーであり、ユーザーに最高級の半導体デバイスをパターン化するための手頃な価格のツールを提供します。
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