中古 NIKON NSR SF120 #9361374 を販売中
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ID: 9361374
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
i-Line stepper, 12"
Main body
Loader chamber
Power supply box
Lamp house cooling unit
Exposing source: i-line
Wavelength: 365 nm
Surface illumination: 1000 mW / cm²
Reduction ratio: 1:4
Wafer alignment: FIA / LSA
LC Control: 25x33 mm
Step pitch: 25 nm x 33 mm, 76-Shots, 12"
Exposure amount: 90 mJ / cm²
Reticle buffer: 14 Sheets (Maximum)
(2) Reticle load ports
Throughput:
FIA-EGA: 100 Wafer / Hour
(2) LSA-EGA: 90 Wafer / Hour
Resolution: <280 nm
Alignment accuracy: <35 nm (M+3σ)
Projection lens NA: 0.50~0.62
Lighting NA with squeezing:
I-NA: 0.43 CONV
I-NA: 0.36 CONV
I-NA: 0.50 2/3Ann
(2) VRA Angle exposure range (Scan field):
26x33 mm
25x33 mm
Options:
PPD
Particle inspection device
2D Barcode
WL Front in-line
Relay FOUP unit
2003 vintage.
NIKON NSR SF120は、洗練されたウェーハ処理ニーズに特化した完全自動ウェーハステッパーです。このステッパーは、複数のウエハレベルにわたって正確なオーバーレイ精度を保証する優れたパターンアライメント装置など、幅広い機能を提供します。また、5軸モーションシステムにより、振動を最小限に抑えた正確なウェーハ動作が保証され、安定性が向上します。NIKON NSR-SF120はまた、優れたウェーハ表面忠実度と性能向上を生み出す高精度レンズユニットを提供します。明るいフィールドイメージングのための高度なソフトウェアと光学も優れたエッジ検出とシャープネスを保証します。NSR SF 120は、ほとんどのウエハ形状とサイズに対応できる6インチの広い視野を備えています。この高解像度10メガピクセルカメラは、ウェーハ表面全体にわたって正確で再現可能なウェーハ蒸着プロセスを実現する優れたイメージング機能を提供します。自動ウェーハ校正機は、製品ごとに最適な露出パラメータを設定することで、ユーザーの入力を削減するのに役立ちます。これは、すべての堆積プロセスが最適な精度で、手動制御を必要とせずに実行されることを保証するのに役立ちます。このステッパーには、基板のずれ補正、欠陥パターンの識別、およびステッパーの品質と再現性を向上させるためのウェハレベルのオーバーレイプレビューなど、ウェハ処理を強化する多数の機能が装備されています。NSR SF120は、ウェーハ処理に最適な条件を維持するための理想的な温度制御も備えています。高精度の圧力チャンバーを採用し、ウェーハ表面の温度ドリフト、湿度、汚染レベルを制御します。エアジェットステージの冷却技術はまたdepoの間に使用されます
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