中古 NIKON NSR SF120 #9351366 を販売中

NIKON NSR SF120は、標準の200mmウェーハ製造段階に適合するウェーハステッパー機です。ハイエンド半導体製造のために設計されたNIKON NSR-SF120は、優れた性能と高度な機能を手頃な価格で提供します。4軸設計のNSR SF 120は、X、 Y、 θ、およびZ軸ステージを備えており、アライメントおよび露出プロセス中にウェーハを移動させます。NSR SF120の高いダイナミックレスポンスと高精度エンコーダは、より高いプロセス精度に貢献し、X軸の拡張範囲により、最大16個の8インチウェーハの処理が可能になります。NSR-SF120は、10x、 Eフィールド、NA2.4光学レンズを備えており、精度を犠牲にすることなく、より速いアライメントを提供する高度なアライメント機器と相まっています。NIKON NSR SF 120には、振動を低減し、優れたプロセス安定性を確保するための先進的な低ノイズアクチュエータが含まれています。高度なアライメントシステムは、乱視を軽減するためにレンズの焦点を自動的に調整します。NIKON NSR SF120は、自動輝度制御、自動ウェーハ負荷アライメント、およびアドバンスコーティングおよびフィルムオートメーションも提供します。NIKON NSR-SF120は高度なプログラマブル処理により、ウェハローディングやコーティング、ウェハエッジ露出、フォトマスク挿入、アライメント、露出など、幅広い製造工程やプロセスを自動化できます。NSR SF 120では、パターン認識機能により時間を節約し、精度を向上させることができます。また、NSR SF120には、高度なウエハハンドリングユニットが含まれています。自動化されたハンドリングマシンは、エアベアリング技術を使用して、ウェーハをアライメントステップから次のステップに直接輸送し、処理サイクルを高速化します。最大16個の8インチウェーハを処理できるため、この自動化されたツールはダウンタイムを削減し、スループットを向上させます。NSR-SF120はまた、その長寿命モーターとコントローラで優れた性能と改善された速度を提供します。NIKON NSR SF 120は、柔軟なアーキテクチャと高度な機能により、半導体ウェーハのハイエンド生産に最適です。その最大データスループット速度は最大150kHzですが、ゲーム速度は最大68kHzに達することができます。NIKON NSR SF120の標準機能には、複数のMTFおよびその他の画像処理機能も含まれています。また、ウェーハステッパーは、低照度状態を検知した際に処理を一時停止できるオートサスペンド機能を備え、優れた結果を提供します。