中古 NIKON NSR SF120 #9310946 を販売中
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ID: 9310946
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
i-Line stepper, 12"
SMIF Type: OHT
WL In-line (FOUP: Front In-line)
Signal tower: (3) Colors
Right and left chamber
Temperature controller
Lamp cooling unit
Back side frame
(2) Lamp houses / Loader rails
Top chamber
Control panel
(3) Boxes
Automation online component: SECE
Aperture INA: 0.45
Focus system: Multi focus
Leveling system: Table
Main body:
Magnification: 1/4 Reduction
Light source: 365 nm
Resolution: 0.28 µm
Variable lens: 0.50 to 0.62 nA
Exposure filed size: 25 x 33 mm
Lens adjustment:
(5) PIEZO: 3 Axis
Lens cloudiness: Lemon skin filter
PC System hardware:
Type: DS10
Y2K Completion
No UPS system
Reticle size, 6"
Variable reticle microscope
Alignment sensor:
LSA
FIA
AIS
No LIA
Illumination interferometer system:
Mercury ARC lamp: 5 kW
Wafer stage
Reticle stage
Wafer loader, 12"
Type 3
Port number: 1
Notch type
Hold type: Ping type
Cassette
Front in-line (EFEM)
Pre-align type: NC PRE2
No edge exposure
Reticle loader:
SMIF Type (OHT)
Library / Slot: (2) Indexes
Barder reader
Particle checker: PPD2
Library: Center
Control rack:
Type: Right
Cable length: Normal
s52 Chamber:
Type: Sendai chamber
Single
BATC / CATC / LLTC: 23°
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
Missing parts:
(4) ALG-AF Control PCB
FIA-AF Control PCB
2003 vintage.
NIKON NSR SF120は、小型・高解像度デバイスの高度なフォトマスク加工用に設計されたウェハステッパーです。ナノイメージングに使用され、レジスト、欠陥レベル、および高スループットで高品質のフォトマスクを作成することができます。NIKON NSR-SF120は、4インチ（100mm）のマスクフィールドサイズのステッパー光学機器（SOS）を搭載しており、1〜5層のマスクに適した高解像度イメージングを実現しています。この光学系には、ナノスケールのイメージングのための0。1 umの精度と0。02 umの解像度を持つ6軸アライメントも含まれています。また、ウェーハステッパーには、1。4メガピクセルの解像度CCDカメラを採用した自動ウェーハ移動検知システムと、環境からの低レベルの振動を検知して光学的安定性を高める3軸の振動検知ユニットを搭載しています。ウェーハステッパーには、ハイスループット最適化のための最先端の計算アルゴリズムを利用したComplete Process Control Machine （CPCS）も含まれています。CPCSを使用すると、露出プロセスをリアルタイムで監視および調整し、最適なマスク加工を行うことができます。さらに、NSR SF 120には、信頼性が高く効率的なフォトマスクパターンパターニング用のAVI （AutoVision Interface）サブツールが含まれています。AVIは、高度な光学トポグラフィおよびジオメトリ測定技術により、パターン転送精度とオートメーションを向上させます。また、ウェーハステッパーはPC制御のウェーハ操作インターフェースを拡張しており、ウェーハの位置を素早く設定、確認、調整することができます。NIKON NSR SF 120は、高度な冷却資産と堅牢な機械的および環境保護機能を備え、高い耐久性と耐久性を備えています。また、ウェーハステッパーは、自動ウェーハアライメントと交換機能により、異なる基板を簡単に切り替えることができます。ステッパーは、ウェーハの読み込み時間が60秒、4インチ（100mm）のマスクフィールドサイズの処理時間が90秒です。最後に、NSR-SF120はユーザーフレンドリーなメンテナンス機能と最適なパフォーマンスのためのカスタマイズ可能なアクションボタンが付属しています。
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