中古 NIKON NSR SF120 #9251800 を販売中

ニコンNSR SF120は、高性能、高精度、信頼性の高いウェーハステッパーです。マイクロファブリケーション、リソグラフィー、光学パターニングなど幅広い用途のために、ファブでの生産と開発の両方に使用するために設計されています。単段ステッパー装置を搭載し、優れたアライメント精度、高スループット、幅広い露光オプションを提供するニコンNSR-SF120。NSR SF 120は、最大6インチウェーハをサポートできるウェーハステージを提供します。ウエハステージは、硬質アルミ構造の外枠と高精度の差動エアベアリングステージを備えています。XY軸とZ軸でのステージモーションを精密に行うことで、最大5ウェハ/秒のスループットを実現し、高いアライメント精度（± 0。5 µm）を実現しています。ステージには完全に自動化されたアライメントシステムも備わっています。NSR SF120には300mmレンズキャニスターが搭載されており、様々なニコン光学系に最適化されており、広い視野と数値開口部を提供しています。また、フル機能の高精度アライメントマシンを搭載し、光学部品の柔軟で正確な位置決めを可能にします。150W水銀ランプは広範囲の露出エネルギーを提供し、アプリケーションに応じて幅広い露出設定を可能にします。ハロゲン光源の短波長により、NIKON NSR SF 120は1 µmの分解能を実現します。NSR-SF120は包括的な制御インターフェイスを備えており、工具の自動化と本番環境への容易な統合を可能にします。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、アセットをセットアップし、パラメータをすぐに調整できます。また、NIKON NSR SF120は、関連する安全規制を遵守し、機器の安全・効率的な運用を実現するユーザーフレンドリーな安全モデルを提供しています。したがって、ニコンNSR-SF120は効率的で正確なウェーハ露出を実現するための理想的な選択肢です。