中古 NIKON NSR SF120 #9251799 を販売中
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ニコンNSR SF120は、超高精度のマイクロエレクトロニクス部品を製造するために設計された最先端のウェハステッパー加工装置です。ステッパーは、直径6インチまでの大小のウェーハ基板をイメージングすることができます。システムは、高度なステージ、レンズユニット、および高感度のイメージング方法で構成されています。NIKON NSR-SF120は、2。0マイクロメートル以下の優れた平坦性を備えた独特のウエハーマウントステージを採用しています。これにより、ウェハスキャンおよびイメージング中の精度を向上させることができます。ステージはNIKON HyperDriveユニットで動作し、収差を低減し、精度とスループットを向上させます。ステージもリニアモーションモーターで設計されており、スムーズな動きと精度に貢献します。NSR SF 120レンズユニットは、4つのレンズのセットで構成されています。アポロやヴィスターレンズなど、NIKONのファインイメージングレンズが特徴です。このレンズは低い収差を備えており、製造プロセスにおいて最適な結果をもたらします。NSR-SF120で使用される高度なイメージング方法にはタンデムフィールドスキャン技術が含まれており、ウェーハ解釈を改善するためにフィールド間の正確な重複イメージングを可能にします。また、80MHzのパルス制御が可能な独自の光源を搭載し、イメージングを向上させています。ステッパーはまた、フォーカスと露出調整のための革新的な自動キャリブレーションマシンを備えています。NSR SF120は、最高レベルの精度でマイクロエレクトロニクス部品を製造するように設計された優れたウェハステッパー加工ツールです。このアセットは、精度と優れたイメージングレンズのために設計された耐久性のあるウェハーマウントステージと、画像解像度を向上させるための高度なイメージング方法を誇っています。これらの理由から、ニコンNSR SF 120は、要求の厳しい電子製造プロセスにとって信頼できる選択肢です。
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