中古 NIKON NSR SF120 #9247819 を販売中

NIKON NSR SF120は、集積回路製造用に設計された超高精度のフルフィールドウェーハステッパー装置です。1。2ミクロン（100-KeV）の精度で回路素子を製造するように設計されています。リソグラフィーシステムのNIKONファミリーと共通のテレセントリック照明方式を採用し、研磨ウェハの表面全体にハーフトーン模様を投影します。NIKON NSR-SF120ユニットは、1台の露光機でウェーハを高スループットで処理できるように設計されており、1時間あたりのスループットは250ウェーハです。このツールは、線形光学分野を備えた高性能なモーションアセット、高精度のイメージングレンズ、効率的な光源、モデルコントローラで構成されています。ウェーハステージは、高いスループットを実現するために不可欠な、研磨されたウェーハの正確で反復可能な動きを提供するように設計されています。ウェーハステージには、X軸とY軸の両方でウェーハを正確に配置できる摩擦のないリニアモータが含まれています。NSR SF 120装置のイメージングレンズは、1。2ミクロン未満のイメージング素子に最適化されています。イメージングシステムの主要な構成要素は、イメージングユニットの収差を最小限に抑える非対称軸および非対称軸放物線ミラーです。光源は248nmの波長を持つKrFエキシマレーザーで、研磨されたウェーハ上の小さな構造物のイメージングに優れた性能を提供します。マシンコントローラは、イメージングオプティクスとウェハモーションツールを正確に制御します。NSR SF120資産は、そのパフォーマンスをさらに向上させる追加オプションで構成することができます。超小型構造画像用の高解像度光学系や、大型ウェハサイズの処理に特化したウェハステージなどがあります。このモデルはまた、さらに精度を高め、プロセスのターンアラウンドタイムを向上させる調整可能な洗浄装置を提供しています。要約すると、NIKON NSR SF 120ウェハステッピングシステムは、超高精度の集積回路製造用に設計されています。先進的な光学系とウェーハモーションシステム、そして必要な光源を提供するKrFエキシマレーザーを備えています。さらに、お客様はさらにパフォーマンスを向上させるためのオプションを追加してシステムを構成することができます。