中古 NIKON NSR SF120 #9243871 を販売中

NIKON NSR SF120は、半導体部品の製造に使用される次世代ウェーハステッパーです。これは、優れたスループットと強化されたイメージング機能を提供するように設計された高度な光学リソグラフィーツールです。ハイエンド光学系と精密輪郭スキャンヘッドを搭載し、幅広い生産環境でウェーハ上のデバイスパターンの高解像度画像を提供します。NIKON NSR-SF120では、ダブルパターニング（DP）や2D/3D構造などの高度な機能の正確で柔軟なパターニングを可能にし、透明性を最大限に高めます。単一波長エクスポージャー（SWE）、多波長エクスポージャ（MWE）、マルチレベルエクスポージャ（MLE）など、さまざまなエクスポージャー技術をサポートしています。このシステムは、デュアル波長露光モードにも対応することができ、ユーザーは広い範囲で各波長の露光パラメータを変化させることができます。NSR SF 120は、正確かつ再現可能なアライメント、オーバーレイ再現性、高解像度イメージング、およびパターニング損傷の低減を提供することができます。この高度なユニットは、4「から12」まで、さまざまなウエハサイズにも対応できます。ニコンNSR SF 120も非常に信頼性が高く、効率的です。プロセス工程数を削減し、各ウェーハから最大のスループットを抽出するように設計されています。堅牢なモーターマシンは高速かつ精密なスキャンを可能にし、専用のコントロールユニットは最適化された露出制御ユニットを使用して画像の完全な精度を保証します。NSR SF120はまた、温度を低く保ち、生産プロセスを円滑に実行するために、ハイエンドの換気システムで設計されています。また、洗練されたアラームとセルフモニタリングシステムが装備されており、人員に不規則性を即座に警告します。最後に、NSR-SF120には自動ガラスアライメントやフォーカス検出などの機能が付属しており、これにより精度と精度がさらに向上します。全体として、NIKON NSR SF120は、優れたイメージング機能と最大スループットを提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。様々な露光技術と高度なモータツールにより、より高い精度と再現性、信頼性の高い動作を可能にします。