中古 NIKON NSR SF120 #9226645 を販売中

ニコンNSR SF120は、ウェーハパターニングおよび処理アプリケーション用に設計されたウェーハステッパーです。高度で汎用性の高いツールで、歪みの少ないレベルで優れた解像度のマスクを製造することができます。ウェーハステッパーは、高温条件下でも優れた速度と高精度の位置決めを実現する、信頼性の高いスキャンステージで構築されています。ポイントツーポイントスキャンまたはウェーハ表面全体の周期スキャンに影響を与えるように設計されています。付属の作業フィールドは最大120 mmです。最大6インチサイズの基板に対応し、ダイパターンやウェーハパターニングのアプリケーションを可能にします。NIKON NSR-SF120の理想的な用途には、DRAM、リソグラフィ用マスク製造、接触露出、はんだ付け、マスク検査、ファインマスク露出などがあります。NSR SF 120は、0。5 μ m/secの最大スキャン速度で、超高速、低歪みスキャン機能を備えています。これは非常に高解像度の印刷を達成するのに役立ちます。また、多種多様なファインパターンデータを高速に処理することが可能です。また、自動パターン認識（APR： Automatic Pattern Recognition）システムを搭載し、最適な倍率目標条件を自動的に設定し、比類のない解像度を保証します。NSR-SF120は、正確なプロセスと生産歩留まりの向上を確実にするために、マスク登録を簡略化して設計されています。マスクのアライメント時間が速く、手動設定に比べてアライメント時間が90％短縮されます。NIKON NSR SF 120の低温上昇は、低温で形成されたパターンを保証します。これにより、歪みを低減し、品質とマークの解像度を向上させます。NSR SF120は、高精度で反復可能な結果を提供する費用対効果の高いツールです。ステッパーは使いやすく、長い学習曲線を必要としません。