中古 NIKON NSR SF120 #293818225 を販売中
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NIKON NSR SF120は、フォトマスク製造、ダイレクトライト半導体リソグラフィなどの産業用途向けに設計された半自動ウェハステッパーです。SF120は0。28nmの超高解像度を備えており、最適な精度で非常に複雑なパターンを生成できます。このマシンは、デバイスの小型化に対応し、より複雑な形状とサイズに対応するように設計された高度で完全にプログラム可能なウェーハテーブルを備えています。200mmウェーハフリッパーを装着しており、手作業でウェーハの積み下ろしが可能です。さらに、NIKON High NAレンズ(NA 0。7)を搭載しており、最高レベルの解像度とイメージングを可能にします。NIKON NSR-SF120は、デザイン面では歪みを低減し、パターンの忠実度を向上させるために設計された2段階の光学システムを備えています。ステッパーには高度なアライメント機能があり、ユーザーはアライメントエラーを正確かつ迅速に識別して解決できるため、スループットの向上に役立ちます。また、高精度オートフォーカス機能を備え、セトリング時間を短縮し、露光時間を短縮するために特別に設計された高速ステッピングシャッターを備えています。NSR SF 120は、オペレータとデバイスを高圧露出から保護するロードロックチャンバーなどの高度な安全対策が含まれているため、信頼性が高いです。このマシンには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスがあり、ユーザーはマシンの操作を管理および監視できます。このステッパーには、2つのピエゾ電気ベースの操作が装備されており、ユーザーはスループットと再現性を高めることができます。また、埋め込みイメージプロセッサを備えており、リアルタイムのフィードバックを提供し、画質を向上させるのに役立ちます。要約すると、NSR-SF120はフォトマスク製造、ダイレクトex半導体リソグラフィ、およびその他の産業用途向けに設計された半自動ウェハステッパーです。最小解像度は0。28nm、高度なアライメント機能、高精度オートフォーカス機能、高速ステッピングシャッターを備えています。さらに、高度な安全対策とロードロックチャンバーを備え、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、このマシンは信頼性が高くなります。ピエゾ電気ベースの2つの操作により、スループットと再現性が向上し、埋め込みイメージプロセッサはリアルタイムのフィードバックと画質を提供します。
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