中古 NIKON NSR SF120 #293628325 を販売中

ニコンNSR SF120ウェーハステッパーは、フォトマスク製造用に設計された高精度リソグラフィ装置です。このウェーハステッパーは、マルチチップ投影光学系と全自動アライナーをはじめ、様々な部品を使用して、これまでにない精度と安定性を備えたフォトマスク生産を提供します。NIKON NSR-SF120は、コンパクトなフットプリントで高画質を実現し、接触アライメント、アライメント、ライン/スペースパターニングなどのバックエンドプロセスに最適です。NSR SF 120は、オープンループGalvoミラーと組み合わされた非常に精密な単列4フィールドアライメント装置を使用しています。これにより、他の利用可能なフォトマスク生産システムよりも非常に正確なアライメントとフレーミング精度が得られます。また、NSR SF120はドライウェーハステージを備えており、ウェットステートの生産環境を必要とする場合にも使用できます。NIKON NSR SF 120に組み込まれた高精度プロジェクションオプティクスは、2。0〜3。0ミクロンの画像精度とリソグラフィ精度を提供します。より広い視野でシステムを提供するとともに、これは困難な形状や形状NSR-SF120持つ高度なフォトマスクや半導体パターンの生産に理想的です。このデバイスはまた、最大1m/sの驚異的なスキャン速度を備えているため、大量生産に適しています。また、NIKON NSR SF120はオートフォーカスを内蔵しており、優れた深度焦点（DOF）を提供しています。これにより、ウェーハスキャン中に自動的にフォーカス設定を調整することができ、あらゆるケースで最高の画質を保証します。また、NIKON NSR-SF120は高速自動バッチ整列機能を備えており、目的の座標に正確かつ迅速にターゲットパターンを配置することができ、丸めエラーを排除します。NSR SF 120は、ウェーハと剥離プレートを自動的に交換する高速ロボットウェーハ交換（REX）ツールを備えており、より高いスループットと人件費の削減を可能にします。また、高度な検査および校正資産も含まれており、ターゲットパターンの正確なチャート作成と再現性をこれまで以上に容易にします。さらに、その高度なソフトウェアは、信頼性と効率的な方法で仮想リソグラフィと輪郭アライメントを提供する正確な3次元ソフトウェアシミュレータを含みます。NSR SF120は、高精度フォトマスクの製造に理想的な高精度、汎用性、信頼性の高いウェハステッパーです。NIKON NSR SF 120は、最先端の光学系、自動プロセスフロー、バッチアライナー、高速ウェーハ交換、精密ウェーハステージおよび検査システムにより、現在利用可能な最高レベルの画質、スループット、安定性を提供します。