中古 NIKON NSR SF120 #293618791 を販売中

ニコンNSR SF120は、半導体製造およびチップ製造に使用されるウェハステッパーです。1時間あたり最大200mmウェーハを処理するアライメントステッパーです。NIKONは、高い評価を得ている2軸精度と優れたイメージング性能と高度なアライメントアルゴリズムを組み合わせ、オーバーレイ精度を向上させています。この半導体ステッパーは、今日最も要求の厳しいウェーハ製造環境のニーズを満たすために高度なコンポーネントで設計されています。マスクからマスクへのアライメントが可能で、シングルポジションリアライメント用のアライメント機能が内蔵されています。低レベルの直線性エラーとオーバーレイエラーで高いスループットを提供し、生産安定性を提供します。NIKON NSR-SF120は、信頼性と安定性の高いチャンバー内にaseismatically搭載された3チップアレイ画像キャプチャシステムを備えたイメージング装置を使用しています。このイメージングユニットは、NIKON独自の光学設計を採用したNA照明装置を搭載し、マスクの歪みのない高品質な画像処理が可能です。また、独自のソフトウェアを使用して、チャンバー内の部品を効率的かつ正確に識別および整列します。NSR SF 120の優れた設計により、フォトレジストパターニングや高精度オーバーレイアライメントなどのフォトリソグラフィープロセスに使用できます。また、高速で高精度な機能により、光学パターンチェック、ゲートおよび接触ホールパターンの描画、散乱計、マスクアライメントも可能です。NIKON NSR SF 120は、幅広い生産ニーズに最適な堅牢で信頼性の高いウェーハステッパーです。200mmまたは300mmウェーハの両方で最大4インチの負荷を処理することができ、最も困難な生産課題の処理に適しています。さらに、高度なプロセス制御を提供し、優れたスポット間の安定性と生産性を提供します。安全面では、NSR SF120は安全で安定した動作環境と幅広い安全機能を備えています。それは安全な操作を保障するために多制御クロッキングツールおよび信頼できるビーム停止バッフルガードが装備されています。さらに、高度なスタンバイアセットにより、アイドル時の電力消費が低くなります。全体として、NSR-SF120は、最も要求の厳しい製造作業のために設計された信頼性の高い強力な半導体ステッパーです。3チップアレイイメージングモデルと高度なアライメントアルゴリズムにより、高いスループットと優れたオーバーレイ精度を実現します。また、幅広い安全性とプロセス制御機能を備えているため、小型および大型チップメーカーに適しています。