中古 NIKON NSR SF120 #293606907 を販売中

NIKON NSR SF120
ID: 293606907
i-Line stepper.
NIKON NSR SF120は、半導体デバイスやマイクロエレクトロニクス機器の製造において、高精度フォトリソグラフィープロセスを可能にするように設計された洗練されたウェハステッパーです。その先進的なデザインは、特殊なレンズと露光システムを使用して複雑で正確なパターンを生成することができます。SF120はコンパクトな設計で、スペースに制約のあるクリーンルーム環境でも取り付けや操作に適しています。ステッパーは、振動を最小限に抑え、精度を維持するために構築されています。ほとんど回折制限のあるレンズや、解像度やサイズが異なる最適化されたレンズなど、さまざまな露出レンズが用意されています。さらに、露光装置には独自の省エネ露光モードが含まれています。SF120は簡素化されたミニ環境を備えています。静電気を低減しながら、高い再現性と精度を実現します。このプラットフォームには露出監視システムが装備されており、露出条件をリアルタイムで継続的に監視および修正します。さらに、ステッパーには自動露出パラメータが装備されており、露出条件を微調整して最適な性能を発揮します。これにより、露出パラメータを調整する時間と複雑さが軽減されます。NIKON NSR-SF120には最先端の画像処理システムが搭載されており、ユーザーはパターンの画像処理やデータ解析を行うことができます。この高度なイメージングユニットは、重要な位相シフトデータをキャプチャおよび分析できる高速、高解像度、24メガピクセルのイメージングマシンで設計されています。さらに、クリティカルアライメント精度を向上させるダブルスリット設計と、汚染関連の欠陥を低減する防塵シャッターを備えています。NSR SF 120は、フォトリソグラフィの機能に加えて、欠陥検査にも多くの機能を備えています。このツールには、高度な画像解析およびダイレベルの欠陥検出システムが装備されています。さらに、ベーキングシステムや赤外線LED冷却システムなど、拡張処理時間をサポートする多くの追加機能が利用可能です。NSR-SF120は、高精度で複雑なパターンの生成をサポートするために構築された高度なウェーハステッパーです。高度なイメージング資産と洗練された小型環境設計により、高精度で再現性の高い露光が可能です。さらに、欠陥検査機能により、最高品質の製品を保証します。
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