中古 NIKON NSR SF120 #293589139 を販売中

NIKON NSR SF120は、マイクロリソグラフィープロセスで使用される高精度ウェーハステッパーです。シリコンなどの半導体基板に高品質の微細構造を生成するために設計された先進的な装置です。この機械は高度な光学を使用し、広い光学分野を備えています。35mmの視野を持ち、クラス最大の視野です。光源は200mmレーザーで、光学素子の縁にコーティングを施し、反射やフレアを低減しています。顕微鏡レンズもコーティングされ、サンプルの鮮明なイメージを提供します。NIKON NSR-SF120は、6軸電動ステージを搭載し、0。25 μ mの分解能で基板上の正確な位置決めを可能にします。ステッパーには、環境振動を最小限に抑えるための5軸エアフロー・システムがあり、サブミクロンフォーカス耐性を実現しています。NSR SF 120は、幅広い基板に対応できるように設計されており、直径450mmまでの基板加工が可能です。ウエハハンドラは、基板の真空保持を確保し、正確な高速ウェハハンドリングを可能にします。ユニットの包括的な自動化により、信頼性と効率的なパフォーマンスが保証されます。プログラマブルモータコントローラとユーザーフレンドリーなインターフェースを内蔵しており、さまざまなアプリケーションのステップとレシピの入力と管理に使用できます。また、ステッパーを完全に制御するためのモバイルおよび静止ロボットコンポーネントのスイートを備えています。NSR SF120には、オートフォーカス校正およびアライメントマシンも備えています。このツールは、高度なライン焦点アルゴリズムを使用して、基板表面上の複数のラインのエッジ焦点を測定し、必要に応じてこの情報を使用して補正を行います。NIKON NSR SF 120は、幅広いマイクロリソグラフィ用途に適したパワフルで信頼性の高いウェーハステッパーです。人間工学に基づいて設計され、大量の工業生産に適しています。