中古 NIKON NSR SF110 #293821683 を販売中

NIKON NSR SF110は、大量の半導体製造のために設計された先進的なウェーハステッパー装置です。このシステムには、ダイオードレーザーイルミネータを備えた47 nmスキャナが搭載されており、直径200mmまでのウェーハを製造することができます。ウエハサイズは、ユニットの高精度、低速位置決め技術によって調整され、最高品質の製品を可能にします。NSR SF110には、1µm以上の精度の自動オーバーレイアライメントマシンが搭載されており、0.1µmの超高解像度を提供します。優れたウェーハローディングツールと高速ウェーハ回転機構を搭載し、スループットを向上させます。さらに、このアセットには、ウェーハステージの位置ウォッチャーとプロセス強度モニタがあり、ウェーハステージとプロセス条件をリアルタイムで監視できます。NIKON NSR SF110は、プロセスオートメーションやレシピデータ解析のための通信インターフェースであるWiRED （Wireless Replacement Electronic Device）などの高度なプロセスコントロールを提供しています。また、汎用性の高いオンボードスキャナプロセッサとコントローラ（SPC）、パワフルなダイアライナー（DA）を搭載しており、パターン化されたウェハの可視性と分析を提供します。SPCは、ウェーハの処理と分析のための高解像度のデジタル処理、画像管理、データストレージ機能を提供します。パターン検索と認識（PSR）アルゴリズムは、ウェーハ上のパターンをすばやく分析して認識するために使用されます。NSR SF110には、露光ツールで使用する前にレチクルを測定および整列するために使用されるElectronic Reticle Alignment Model （ERS）も装備されています。この装置は、0.5µm以下のアライメント精度が可能です。また、ウエハー上の欠陥を検出することができ、検出された欠陥のいずれかが指定された限界を超えた場合、露出シーケンスを自動的に停止することができます。ニコンNSR SF110には、レーザー放射線の安全インターロック、光路の毒防止カバー、潜在的な危険領域の安全ステッカー警告など、さまざまな安全機能があります。警報装置も設置されており、万が一問題が発生した場合にオペレータに警告します。NSR SF110は、露出ウェーハの高精度かつ厳格な品質管理を提供する半導体業界にとって不可欠なツールです。