中古 NIKON NSR SF110 #293817935 を販売中
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ID: 293817935
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.52
Resolution: 350 nm
DCO: 45
Throughput (WPH): 100~120.
NIKON NSR SF110ウェーハステッパーは、複雑なマイクロコンポーネントの優れた画像を生成するように設計された高精度、高速露出ツールです。この超精密な装置は、最大直径8インチのウェーハ基板を処理するように調整されています。半導体の高品質なイメージングと加工を可能にする高度な機能を備えています。NSR SF110は、INS (Integratial Inertial Navigation Equipment)を搭載した高精度なステージや、高度な露光光学など、一連の高度な要素で構成されています。これらの要素は、ウェーハステッパー速度を損なうことなく、優れたイメージング精度を保証するために協力します。さらに、高解像度のCCDカメラを搭載し、最大4。5 μ mのサブミクロン解像度で画像を撮影できます。NIKON NSR SF110の先進ステージシステムは、高度なアライメントとアライメントの安定性を提供します。統合された「冗長」アライメントユニットは、迅速かつ正確な修正を可能にします。これにより、イメージングマシンが高速で動作する必要があっても、ミスアライメントがないことが保証されます。また、NSR SF110は、最大8つのジョブの露出プログラムを同時に処理することができます。これらのプログラムにより、ウェーハステッパーは複数のビュー領域、複数のジョブまたはバンチ間のスキャンを管理できます。これらの特長を活かし、ハイスループットでも高精細画像を実現します。ニコンNSR SF110には、セキュリティの強化も含まれています。データログブックを提供し、完全なプライバシーを確保します。また、不正アクセスを防ぐ高度な暗号化ツールも備えています。さらに、高度な研磨のためのオプションのサンドブラスト機能も利用できます。生産速度に関しては、NSR SF110は、プログラム可能な露光時間を最大10分の1秒にすることで、スループットを向上させます。また、1日で最大600回の露出を提供することができます。この効率性により、大量生産の状況に最適です。最後に、NIKON NSR SF110は、多くの柔軟性を提供する統合モデルです。それはほとんどの既存の広い光学システムと互換性があり、いろいろな露出の選択を提供します。様々なウエハ径に対応可能で、表面特性の異なる半導体向けにカスタマイズされています。さらに、その機能は、特定の生産ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。
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