中古 NIKON NSR SF110 #293655797 を販売中

NIKON NSR SF110は、今日のマイクロリソグラフィーアプリケーションに最適なパフォーマンスを提供するように設計された先進的なウェーハステッパーです。これは、より少ない欠陥でより高いスループットを可能にするように設計されています。NSR SF110は、ニコンNSRの主力製品であり、光リソグラフィ技術の最新の進歩を提供します。NIKON NSR SF110は多彩な機能と柔軟性を備えており、様々なマイクロリソグラフィープロセスに適しています。ステッパーには、高度な高性能主露光照明装置が装備されており、最適化されたNA （Numerical Aperture）は0。78です。また、性能測定用の高解像度干渉コントラストシステムと、フォルト補正機能を自動化したフォルト検出ユニットを備えています。NSR SF110の主な特徴は、ウェーハステージの傾きと回転を可能にする2段ベースで、露出レンズとの整列を容易にします。ステッパーはまた、ウェーハの精密かつ正確な処理を提供し、微細なステージの動きをサポートします。NIKON NSR SF110は、30以上の内部パラメータの効率的なオートバランシングを備えており、各ウェハ露出に最適な設定条件を提供します。さらに、露光強度を調整するための自動トーニングスケールマシンを備えており、より少ない欠陥でより高い露光精度を実現します。NSR SF110は、液晶ディスプレイパネルを備えた高性能コンピュータコントロールユニットで簡単に操作できます。低熱ドリフトと振動低減機能により、振動による光学的誤差を最小限に抑えます。ステッパーは露出レポート生成ツールも備えており、ユーザーにプロセスの包括的な概要を提供します。NIKON NSR SF110ウェーハステッパーは、幅広い先進的な機能を組み合わせており、人間の介在を最小限に抑えた効率的なウェーハ露出を可能にします。その高度な機能、柔軟性、優れた性能により、マイクロリソグラフィーのアプリケーションに最適です。