中古 NIKON NSR SF100 #132126 を販売中

NIKON NSR SF100は、微細構造のサブミクロンリソグラフィ用に特別に設計されたウェーハステッパーです。ステッパーは高度なアライメントと最適化機能を備え、最高品質のリソグラフィ結果を保証します。NIKON NSR-SF100のデュアルアクチュエータXYステージ装置は、ウェーハ上のパターン配置の高精度と再現性を実現します。ステージには、1 µmの動き分解能と2ウェムアライメント精度を備えたダイアライナー光学システムも組み込ま±ています。さらに、ステッパーは自動アライメントフィードバックユニットを備えており、エッジ配置エラーをリアルタイムで正確に検出および修正し、最高品質のリソグラフィ結果を保証します。NIKON SF100ウェーハステッパーは、露光条件の広い範囲をサポートし、優れたExposure-解像度（E： R）比で高い生産性を提供する高度な照明装置を使用しています。ステッパーには、高速非接触ウェハローディングおよびアンロードツールが装備されているため、完全なウェハのロードとアンロードサイクルを迅速に行うことができます。NSR SF 100は、最大400mmのウェーハサイズと最大36の露出フィールドを提供します。SEL Design ExpertおよびSEL Frameworkソフトウェアと連携し、重複領域の補正とプロセス最適化をサポートする包括的なツールを提供します。NIKON NSR-SF 100ウェハステッパーは、TIS （Total Imaging Asset）特性の向上により、高度なデバイス製造プロセスにおいて最高のリソグラフィック結果を提供します。NSR-SF100ウェーハステッパーには、サブミクロンリソグラフィープロセスに最適な他の多くの機能があります。広範囲のエネルギー制御モデルと正確で低ノイズのエネルギースキャン機能を内蔵しています。さらに、ステッパーはイメージフォーマットのサポート、無制限の光学機器パラメータ、および高い動作速度を備えており、正確さを犠牲にすることなく最高のスループットをサポートします。全体として、NIKON NSR SF 100は高度なリソグラフィーステッパーであり、最も要求の厳しい研究および製造アプリケーションに優れた性能と優れたリソグラフィー信頼性を提供します。ステッパーの高度な機能と高精度は、サブミクロンリソグラフィープロセスで優れた結果を達成するために探している企業にとって理想的な選択肢です。