中古 NIKON NSR S620D #9401370 を販売中

NIKON NSR S620Dは、半導体製造プロセスにおいて優れた精度と精度を提供するためにニコンが開発した高性能ウエハステッパーです。NIKON NSR-S620Dは、高度なスキャン技術と光学技術を採用し、ハイエンドのマイクロチップイメージングとエッチングに不可欠な性能と柔軟性を実現しています。NSR S620Dは、6軸ステージと傾斜処理能力を備えた完全自動化された装置を使用して設計されています。このシステムは、さまざまなウェーハサイズの処理に最大限の柔軟性を提供し、複数のウェーハ実装構成に対応できます。NSR-S620Dは、光学リソグラフィ、フォトマスク露光、エッチング、および一時的なプラズマ露光からの幅広い露光アプリケーションをサポートするように設計されています。ニコンNSR S620Dは、最大ステップ精度2。5 μ mの堅牢なポジショニングユニットを備えています。NIKON NSR-S620Dの6軸ステージおよびチルト機能により、ウェーハの正確な位置決めが可能となり、均一な露出レベルを確保します。NSR S620Dは、最高の性能基準を維持するために、露光工程ごとにレンズとウェーハの3次元オートアライメントを装備しています。一連のカメラとリファレンスミラーを使用することで、高い精度を実現しています。また、ニコンの高度なレーザーアライメント技術を活用し、高い位置精度を確保しています。NSR-S620Dの高精度光学イメージングツールは、視野全体に最大0。5 μ mの分解能を提供することができます。この優れた性能は、ニコン独自のイメージングオプティクスと強力な照明源を組み合わせることで実現しています。NIKON NSR S620Dは、露光パラメータの全範囲にわたって最適な均一な画像を確保するために、スイープレーザー電力調整アセットを使用して構築されています。NIKON NSR-S620Dは、優れた想像力に加え、最大限の効率とスループットを実現するよう設計されています。このユニットは、広範囲のサイズと機能にわたって、1時間あたり最大12個のウェーハをサポートできます。さらに、NSR S620Dには、クリーンでほこりのない環境を確保するために、内蔵のドライバキュームクリーナーと窒素パージモデルが装備されています。全体として、ハイエンドのマイクロチップイメージングおよびエッチングプロセスで優れた精度と精度を提供する高度なウェーハステッパーをNSR-S620Dしています。NIKON NSR S620Dは、高い信頼性と効率性を備えた生産プロセスを提供することで、スループットの向上と優れた成果の提供を目指す半導体メーカーにとって理想的なソリューションです。