中古 NIKON NSR S620D #9198048 を販売中

NIKON NSR S620Dシリーズウェーハステッパーは、半導体デバイス製造用に設計された最先端の光学リソグラフィ装置です。高精度、高精度、レーザーベースのプロジェクションオプティクスシステムと高度なハードウェア技術を採用しています。このウェーハステッパーは、高級半導体デバイスの新世代を製造するための正確で信頼性の高いリソグラフィを保証します。NIKON NSR-S620Dの特長は、ハイエンド光学ユニットと高度なグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）です。光学機械は2つの対照的な光学サブシステムから成っています：低く、高圧投射システム。低電圧プロジェクションツールは優れたスキャン性能を提供し、高電圧は深いフォトレジストプロセスに適しています。また、オートフォーカス・レールに光学投影レンズを搭載し、正確なアライメントとイメージングを実現しています。GUIは、ユーザーがさまざまなパラメータを設定し、簡単に調整するための直感的で便利なプラットフォームを提供します。ウェーハステッパーには、2マイクロメーターのイメージング・アライメント精度も備えています。ファインアライメント、OAI （Off-Axis Inspection）イメージング、フィデューシャルマークマッチングなどの自動アライメント機能を内蔵しています。さらに、NSR S620Dシリーズの設定を独自の要件に合わせてカスタマイズすることもできます。最大スキャン視野は25mm x 24mmで、最大解像度は16nm、最大サイズは2インチまでです。これにより、高度なICデバイスの小さな機能で高密度パターンを作成することができます。さらに、ウェーハステッパーは高性能コーティングシステムやスピナーと完全に互換性があり、複雑な積層回路を作成することが可能です。NSR-S620Dには他にもいくつかの機能があり、ハイエンドのIC生産に最適です。低電磁干渉（EMI）により、高感度デバイスに適しています。また、高精度のモーターと光学系を使用して、正確な位置決めとイメージングを保証します。また、ウェーハステッパーは、長期使用に耐える耐久性のある部品で構成されています。NIKON NSR S620Dは、イメージング精度と性能に優れたウェハステッパーです。高精度オプティクス、自動化されたアライメント機能、ワイドビューにより、最先端の半導体デバイスを最高レベルの品質で製造するのに適しています。その優れた設計と堅牢な構造は、任意のラボや生産設定で長期的な使用を確保するために必要な耐久性と信頼性を提供します。