中古 NIKON NSR S620D #293817903 を販売中

NIKON NSR S620Dは、NIKONが設計・製造した高精度のウェーハステッパーです。このステッパーは、ステップスキャン投影露光技術を使用しており、コヒーレント光ビームがマスクに到達するまで一連のレンズを通過します。その後、マスクは段階的に移動され、露出はウェーハ表面で行われます。このステッパーは、ウェーハステッパー業界で最も先進的な技術である0。0085 μ mまでのファインピッチ設計が可能です。高度なNIKON超高解像度レンズを採用し、収差を最小限に抑え、均一性を最大限に高め、最大4Xの削減能力と270mmの均一なフィールドサイズを実現します。NIKON NSR-S620Dは、高性能スキャンエレクトロニクスを備えた高速スキャン露光領域も備えています。スキャン速度は、8'000 mm/secの一定の速度を維持できる中心部（高分解能領域）を除いて、最大12'000 mm/secです。この機能により、従来のシステムと比較してサイクルタイムを大幅に短縮できます。NSR S620Dには、変位分解能0。25 μ mの3軸で最大0。5 μ mの測定が可能な高効率ウェーハアライメント装置が含まれています。オートフォーカス（AF）システムは、ウェーハトポグラフィの変動を補正することにより、連続的な焦点を確保します。このステッパーのウェハチャックは、ユニットの重要な部分です。清掃可能で、+/-0。05 kPaの安定性を備えた-81 kPaの高い真空レベルを提供します。チャックはまた、0。3-0。7MPaの均一なチャック圧力を備えています。NSR-S620Dはまた、露出、線量および露出時間パラメータの広い範囲を備えています。これにより、ステッパーの操作中に高いレベルの制御と精度を確保しながら、露出したオブジェクトに最適な設定を選択できます。また、NIKON NSR S620Dには、露出均一性を向上させるための高度なビーム管理機能が搭載されています。Zシフトコントローラを備えたオートフォーカスマシンを搭載しており、ウェーハ表面の凹凸を補正するために数マイクロメートル単位でZ方向を瞬時にシフトできます。さらに、アクティブアブベレーションコントローラを使用して、ステッパーの投影露光ツールの画質を向上させます。NIKON NSR-S620Dは、半導体メーカーの要求に応える高性能、高精度のウェーハステッパーです。それはユーザーがより速くそしてより高い精度でファインピッチの設計を発生させることを可能にする機能の広い範囲を提供します。