中古 NIKON NSR S610C #9207261 を販売中

NIKON NSR S610C Stepperは、フォトリソグラフィに真に統合されたアプローチを組み込んだハイエンドのウェーハステッパーです。このステッパーは、従来のウェーハステッパーよりも露光時間の短縮を可能にする高速2段イメージングシステムを採用しています。NSR S610C Stepperは、4インチの高性能プロジェクションレンズを使用して歪みを最小限に抑え、収差を低減し、高品質の出力を保証します。このステッパーはまた、カスタマイズされたプロセスの様々な使用を可能にするユニークなダイシング機能を提供しています。NIKON NSR S610C Stepperは、ウェーハの向きと位置に関する特定の情報を提供するマルチフィールドダイレクトアライメントセンサーを備えています。このステッパーはまた、ユーザーが簡単に出力品質を調整することができます露光線量計算モードのオプションの広い範囲を提供しています。NSR S610C Stepperは高度なメカトロニクス設計を採用しており、迅速かつ正確なアライメントが可能で、ユーザーはサイクルタイムを短縮できます。NIKON NSR S610C Stepperは、ウェーハ全体にわたって正確に制御された焦点深度を保証する、優れた再現性を提供するフォーカスサーボ制御モジュールを内蔵しています。NSR S610C Stepperは、粒子の導入を最小限に抑えるために、オゾンと粒子を制御する高度なシステムを備えています。このステッパーは、ウェーハ加工に最適な条件を確保するために、27°C〜45°Cのさまざまな水温を提供します。NIKON NSR S610C Stepperは、ウェーハのバッチごとに保存できる幅広いジョブパラメータを備えた部品単位（PBP）プロセス制御も提供しています。NSR S610C Stepperは、高精度のSU-8レーザー符号化抵抗率とリモートセンシングを統合し、マスキングプロセスの制御を容易にします。このステッパーは、完全にシールドされたプラズマ排気システムを備えた環境的に持続可能な設計を利用しており、ウェーハ処理中の有害物質の使用を容易にします。NIKON NSR S610C Stepperは、数多くのアプリケーション固有のモジュールとカスタムモジュールをモジュール化する機能を提供します。このステッパーにより、幅広い材料とサイズの複数の基板を処理することができ、ハイエンドのウェーハ生産要件を効率的に完了することができます。NSR S610C Stepperは、高精度、高速、および品質のために設計されており、フォトリソグラフィ用途に最適なウェハステッパーです。