中古 NIKON NSR S610C #293817905 を販売中

NIKON NSR S610Cは、高性能で全自動のトップオブザラインウェーハステッパーです。独自のプロセスにより、従来のフォトリソグラフィーシステムとは比べ物にならない程度の高密度微細パターンの高精度生産を実現しています。NSR S610Cには、世界で最も強力な画像転送装置が搭載されており、3Dマルチレイヤー、マルチバリュー露光を備えており、最も複雑なパターンでも高精度に生産できます。ウェーハの搬送時間が短いため、生産時間が短縮されるだけでなく、1サイクルで高度に統合された部品を作成することができます。また、各種サイズ・材質の基板にも対応しており、高密度・高精度の生産に最適なプラットフォームです。NIKON NSR S610Cは、滑らかでギザギザのないパターンや均一な露出分布など、優れたイメージング機能を提供します。さらに、洗練されたウェーハアライメントユニットにより、基板の精密なアライメントが可能になり、不整列の可能性を低減し、望ましいパターン設計への優れた適合性を確保します。NSRに統合された優れたレベラーはS610C汚染された領域や外部粒子の損傷など、ウェーハ表面の最も微細な欠陥を検出することができます。これにより、生産精度が向上し、異物による不要な色彩の飽和やラインを防ぐことができます。ニコンNSR S610Cは、最も要求の厳しいプロジェクトのニーズを満たすために、優れたレベルの光学性能を提供します。最先端のカスタマイズ可能なイメージングサブシステムは、最高レベルの精度と柔軟性を提供するために装備されています。フルオートロードポートを使用すると、ウェーハを迅速かつ簡単に製造機に転送できます。最後に、NSR S610Cには直感的で使いやすい制御および監視システムが装備されています。専用ソフトウェアは、ステッパーの構成とその進捗状況の監視に高度な柔軟性と制御を提供し、精度と速度が最も重要な生産に最適です。