中古 NIKON NSR S610C #293633334 を販売中

ニコンNSR S610Cは、リソグラフィ用途向けに設計されたウェーハステッパーで、100ナノメートル以下の機能を正確かつ正確に露出させる必要があります。高倍率多層レンズ、レーザー干渉計オートフォーカス、独自のクワッドエアベアリングシステムを使用し、高品質の半導体チップの高精度かつ再現性の高い生産を保証する6軸装置です。NSR S610Cは、高出力の照明と超高速の画像キャプチャ機能を使用して、幅広い露光時間にわたって再現性と正確な出力を提供します。また、優れたスルーフォーカス画像スキャンにより、画像精度を最大化し、スティグメーションエラーを最小限に抑えます。また、パターン認識機能と欠陥検出機能を完全に補完しています。NIKON NSR S610Cは、1〜90ピコ秒の露光速度が可能で、1秒あたり10,000回の露光に相当します。高い屈折率の表面を持つレジストから、反射率の高いインターフェースを持つレジストまで、さまざまなタイプのレジストを露出することができます。また、高度な散乱計などの高度な計測ツールをサポートし、高精度のパターン忠実度チェックとプロセス制御を可能にします。NSR S610Cには、リアルタイムの空中画像検査、ダイレクトウェハレビュー、ぼかし測定、エッジ検出など、一連のプロセス監視および制御機能が装備されています。このツールはまた、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、プロセスを制御するための使い慣れた使いやすいプラットフォームをユーザーに提供します。NIKON NSR S610Cは、様々な操作マスクやプリセット、オプションのリアルタイムプロセス分析や監視など、高度なカスタマイズオプションを提供しています。このアセットは、広角レンズや流動レンズスキャンシステム、特殊レンズの組み合わせなど、さまざまな交換可能な光学系で構成することができます。また、リモートフォーカスや露出調整、露出パラメータの遠隔監視と調整などの遠隔操作機能も統合されています。NSR S610Cは、リソグラフィ用途に理想的なウェーハステッパーで、100ナノメートル以下の高繰り返し可能で正確な機能の露出を必要とします。その信頼性の高いパフォーマンス、高度なカスタマイズ機能、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、あらゆるリソグラフィーラボや生産ラインにとって貴重な資産となります。