中古 NIKON NSR S609B #9268994 を販売中
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ニコンNSR S609Bは、フォトマスク製造やリソグラフィに使用される高度なウェハステッパーです。本機は、高精度かつ高精度なチップ部品の製造を可能にするとともに、大型ウェハや基板のリソグラフィを高速化するために開発されました。NSR S609Bはまた、優れた光学性能を提供し、検査時間の短縮を可能にします。このマシンは、強化された光学システム、高度なファインアライメントシステム、および独自のタンデムスキャン装置の組み合わせを使用して、精度と精度の業界標準を設定します。タンデムスキャンシステムは、2つの軸を同時にスキャンして、正確なオーバーラップと露出制御を行います。タンデムスキャンユニットを活用することで、ニコンNSR S609Bは高品質のチップ部品を製造することができます。NSR S609Bには、さまざまな高度な画像処理技術もあります。ウェーハ製造の精度と速度をさらに向上させる自動アライメントと位置検出が含まれます。また、本機で製造可能な線幅精度は0。3〜0。5ミクロンに達するため、幅広い用途に最適です。NIKON NSR S609Bはユニークなフォーカシングデバイスを使用しており、ウェハのさまざまな部分に迅速かつ正確に焦点を合わせることができます。これにより、リソグラフィープロセスを高速化するだけでなく、エラーの可能性を減らすことができます。フォーカシングデバイスは、露出が最も必要な場所に自動的に焦点を合わせることを可能にする特別なアダプティブフィーチャーを使用しています。NSR S609Bは全体的に、高精度かつ高精度なチップ部品を生成する高度なウェーハステッパーです。それは高められた光学システム、高度の微調整システムおよび独特なタンデムのスキャン機械の組合せを最高レベルの精密を保障するのに利用します。さらに、線幅精度と高度な画像処理技術により、より高速なリソグラフィと検査時間を実現します。フォーカシングデバイスは、さらに生産のスピードアップと精度の確保に役立ち、ニコンNSR S609Bウェハ生産に最適です。
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