中古 NIKON NSR S609B #9223197 を販売中

ニコンNSR S609Bは、高度なリソグラフィ用途向けに設計された精密パターン認識マイクロステッパー式露光装置です。NSR S609Bは、近距離光源を搭載した液浸イメージングシステムとして、幅広い先進的な機能を搭載しており、集積回路、フラットパネルディスプレイなど最先端技術の分野での高度な用途に適しています。NIKON NSR S609Bは、グローバルまたはローカルのアライメントエラーを迅速かつ正確に検出できる高度な空間アライメントユニットを提供します。このマシンは、画像登録を正確に実行するように最適化されており、レジストレイヤーの裏側または正面側のゲートアライメントマークに従って自分自身を向きます。このツールはまた、独自の光学センシング技術を使用して、複数のステッピングアライメントマークを検出し、より正確なパターン選択を実現します。NSR S609Bは非常に高速な露光速度を備えているため、高速リソグラフィ用途に最適です。このアセットは、集積回路およびフラットパネルディスプレイにおける最も要求の厳しいスループット要件を満たすために、毎秒最大4個のエクスポージャーを提供できます。このモデルはまた、高度なイメージングソリューションのための他のシステムとの高度な焦点と容易な統合を提供します。高度なイメージング装置は、広範囲の被写界深度にわたってレイヤーを正確に集中させて整列させることができ、サンプル間のピント合わせを最小限に抑えることができます。NIKON NSR S609Bには6インチ顕微鏡ポートを備えており、既存のラボセットアップと容易に統合できます。NSR S609Bは、比類のない解像度とパターンのフィーチャーサイズ制御も可能です。これにより、集積回路およびディスプレイ基板の分野におけるリソグラフィ用途の厳しい要件に最適なシステムとなります。このユニットは、最大0。6 µmのフィーチャーサイズを生成する機能を備えており、最小フィーチャーサイズは25nm、最小ラインピッチは50nmです。ニコンNSR S609Bは、高精度の機械登録と高度な数値制御（NC）技術で設計されています。これは、高精度で再現性の高いパターン配置とオーバーレイ精度に貢献します。主軸レベルが低く、高解像度のステッピングモータパルス制御により、形状やサイズに関係なくパターンの安定した再現性のあるイメージング性能を発揮します。NSR S609Bは、最適な使いやすさとオペレータの利便性のために設計されています。このツールは、STEP-NCプログラミングおよびリモートコントロールと完全に互換性があり、さまざまな製造環境に統合することができます。さらに、24Vの光源を搭載し、オンマシンデバイスとして使用することができ、資産使用率を簡素化し、機械相互作用時間を短縮するためのデジタルユーザーインターフェイスが付属しています。要するに、NIKON NSR S609Bは、高性能イメージングと急速に発展する技術アプリケーション向けに設計された先進的なウェーハステッピングモデルです。スピード、精度、使いやすさを兼ね備えているため、最も要求の厳しいリソグラフィのニーズに対応できます。