中古 NIKON NSR S609B #293817904 を販売中

ニコンNSR S609Bは、幅広いリソグラフィープロセスで使用されるウェーハステッパーです。半導体ウェーハのパターンを正確かつ正確に加工するように設計されています。NSR S609Bは、高速で信頼性の高いハードウェアとソフトウェアを組み合わせた高度な高精度の光学技術と照明技術を使用して、正確で正確なパターニングを実行します。ウェーハ上で非常に高解像度の画像を生成することができます。ニコンNSR S609Bは光源ベースの機器です。高出力のKrFエキシマーレーザー光源を使用し、ガス処理構成により、焦点深度の高い均一なビームを生成します。また、複数のビームシェーピング、光学安定化、露光寸法調整などの技術により、スループットを向上させ、廃棄物を削減します。NSR S609Bは、他にも多くの高度なハードウェア特性を誇っています。これは、ファインドライブステッピングモーターと結合されている光学系の迅速かつ正確な配置のための剛性、軽量ガントリーが装備されています。また、高感度露光位置検出装置、高度なオートフォーカス装置、幅広い露光要素および測定システムも搭載しています。このツールは、ウェーハステッパーを制御するための使いやすく信頼性の高いインターフェイスであるNikon5200 ソフトウェアPDWによって制御されます。それは焦点、線量、波長、露出時間、露出線量およびシャッター角を含む多数の露出変数を制御することができます。さらに、露出要素と高度なメンテナンスおよびポスト露出解析ツールの制御を可能にします。ニコンNSR S609Bは、今日の成長する半導体産業の要求に応えるように設計されています。低k 1プロセスや二重露光プロセスを含む幅広いリソグラフィープロセスが可能であり、最高レベルの精度と精度を提供します。その効率的で信頼性の高い操作と高度な機能は、半導体ウェーハの製造に携わるすべての人にとって理想的な選択肢となります。