中古 NIKON NSR S322F #293817907 を販売中

ニコンNSR S322Fは、ニコン独自のイメージング技術を駆使した次世代ウェーハステッパーです。この装置は、フォトリソグラフィを適用したウェーハの各層の露出を正確に制御するように設計されています。この技術は、通信、自動車、その他の家電などのさまざまなアプリケーションのための集積回路（IC）の製造に広く使用されています。NSR S322F、プロセス精度、精密動作、環境負荷低減などの機能を大幅に向上させ、デバイスメーカーに究極の性能を提供しています。このシステムは、高解像度、フルフレームイメージングなどの最新のインレンズ自動化技術とイメージング技術を使用して、最小線幅と間隔の精度のための優れた画像忠実性を確保します。ステッパーはまた、ユーザーが特定のプロセスのためにユニットをカスタマイズすることを可能にする露出パラメータの広い範囲を提供しています。セルフスキャンとサーマルコントロールマシンは、アライメントステージとスキャニングミラーの動きが高精度で信頼性が高いことを保証します。NIKON NSR S322Fは、0。3〜1。0 µmの臨界寸法（CD）のIC用に設計されており、最大露出フィールドサイズは22mmです。内部/外部スキャンの再現性を高精度に0.025µmする計測機能を備え、1 µmの小型ターゲットに対応できます。さらに、このツールは高いスループットを提供し、非常に高速なターンアラウンドを可能にし、1時間あたり最大25ウェーハを処理できます。さらに、コンパクトな設計により、既存のシステムやワークスペースに簡単に統合できるように構成できます。NSR S322Fは、優れた環境保護で構築されています。その堅牢な構造は、その環境から来る可能性のある粒子からそれを保護します、その気密インテリアデザインは、動作中の清潔さを維持しながら、。この資産には、プロセスチャンバ内の化学物質含有量を追跡し、メンテナンス要件とコストを削減するモニタリングモデルが含まれています。また、酸素レベルの低減環境を確保し、優れた基材接着性を確保します。最後に、NIKON NSR S322Fには、プロセスの異常を検出できる信頼性の高い検出システムが搭載されています。このユニットは、手動での介入を最小限に抑えて、デバイスのパフォーマンスを維持するのに役立ちます。さらに、不要なイベントを早期に認識することで、汚染や欠陥を防ぐことができます。このツールは、高いスループットとトータルサイクルタイムの短縮を実現します。