中古 NIKON NSR S322F #293671842 を販売中

NIKON NSR S322Fは、NIKON製の先進ウェーハステッパーです。高品質の集積回路製品を製造するために正確なアライメントが必要な集積回路の製造に使用されます。大画面・高精度のXYスキャナを内蔵し、加工時のウェーハの高精度アライメントを可能にします。NSR S322Fは、0。1ミクロンまでのウェーハアライメントの精度と再現性を維持することができます。ニコンNSR S322Fは、NIKONの高度なイメージングオプティクスと高剛性・外形構造を活用し、優れたイメージング性能と精度を提供します。NSR S322Fは、放射光による散乱の影響や収差を最小限に抑え、フィールド全体に均一な照明を提供するために設計された強力な4-kW光照明装置を内蔵しています。NIKON NSR S322Fの先進的な光学照明システムにより、幅75mm以上のウェーハスキャン領域をイメージングすることができ、全領域にわたって非常に高い画質と再現性を維持します。このステッパーは、最先端の検出技術と高度な信号処理アルゴリズムを使用してウェハ表面の欠陥を検出する高速オートフォーカスユニットも備えています。このオートフォーカスマシンは、スキャン範囲全体にわたって非常に高精度なフォーカスを提供し、ステッパーのイメージング機能を最大限に活用できます。NSR S322Fでは、高精度ステッピングモータを搭載した露出ツールを採用し、低騒音露光動作を維持しながら、タイトな露出制御を実現しています。この露光アセットは、ニコンNSR S322Fの4-kW照明モデルと相互作用し、ウェーハ表面から散乱・反射する光の量を最小限に抑えながら、究極の露光性能を実現します。NSR S322Fはまた、高速かつ高精度なウェーハ動作を提供する高度な電動ステージを備えており、非常に低いセトリング時間と高速での振動を最小限に抑えます。このステッパーは、ダイレクトドライブと微細加工技術を組み合わせたもので、0。1ミクロンまでのウェハモーションの精度と再現性を提供します。さらに、ニコンNSR S322Fの電動ステージに特別な保護コーティングを施し、長期的な性能と信頼性を保証します。NSR S322Fは、最も要求の厳しい集積回路製造設備のニーズに応えるように設計された、非常に正確で汎用性の高いウェーハステッパーです。NIKON NSR S322Fは、高度なイメージングオプティクス、高速オートフォーカス装置、電動ステージを備え、要求の厳しいウエハ処理作業に最適なレベルの性能と精度を提供します。