中古 NIKON NSR S322F #293671643 を販売中
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ID: 293671643
Scanner
Resolution: ≦ 65 nm
Exposure light source: ArF Excimer laser (193 nm Wavelength)
Reduction ratio: 1:4
Maximum exposure field: 26 mm x 33 mm
Overlay:
Single Machine Overlay (SMO): ≦2 nm
Mix and Match Overlay (MMO): ≦5 nm
Throughput: ≧ 230 Wafers / Hour (96 Shots).
NIKON NSR S322Fは、ウェーハスケールで高解像度のイメージングを実現する次世代ウェーハステッパーです。ステッパーは、大量生産のための業界標準である48インチ径のウェーハに対応するように設計されています。NSR S322Fは、先進的な光学およびイメージング機能を備えており、精度と再現性を保証するナノメートルレベルの解像度を提供します。この装置は、ウェーハをさまざまな高さにインデックス化してアクセスとアライメントを容易にすることもできます。NIKON NSR S322Fには、リアルタイムのフィードバックとデジタル制御を提供する高度なCCDアレイカメラが搭載されており、ユーザーはあらゆるアプリケーションでステッパーを迅速かつ簡単に設定できます。また、設定可能な画像処理ユニットを備えており、スキャンモードと画像モードの両方で画質を最適化することができます。また、露光時間、レンズ絞り、フォーカスなどのイメージングパラメータもカスタマイズできます。NSR S322Fは、CCDアレイカメラの成長として、スキャンされるウェハの高さと露光時間に関係なく、一貫した画質を保証するオートフォーカス機を備えています。NIKON NSR S322Fは、1サイクルで大きな部品をスキャンできるフィールドイメージングツールも備えています。アセットの複数の露出機能により、ユーザーはさまざまな露出でウェーハのさまざまな部分をスキャンすることができ、高解像度の画像が得られます。この機能を活用することで、エンジニアは複数のコンポーネントを含むウェーハを素早く処理することができます。NSR S322Fには、一貫した照明条件を確保するための光強度コントローラもあります。これにより、一日の時間に関係なく、イメージングの精度が保証されます。さらに、ステッパーは、画像同期やイメージマスキングなどのさまざまな画像処理およびソフトウェアツールと互換性があります。これらのツールは、ウェーハ処理アプリケーションの生産性と効率を向上させるために設計されています。全体として、NIKON NSR S322Fは、産業用イメージングに理想的なプラットフォームを提供する最先端のウェーハステッパーです。その高度なイメージング機能、フィールドイメージングモデル、CCDアレイカメラ、オートフォーカス機器、および光輝度コントローラは、コンパクトで手頃な価格のパッケージで比類のない精度と画像品質を提供します。
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