中古 NIKON NSR S322F #293665735 を販売中

NIKON NSR S322Fは、半導体業界でリソグラフィ用途に使用される高性能セミオートウェーハステッパーです。これは、高度な精度とアライメント機能を備えた精密光学イメージングツールです。NSR S322Fにはワンショット光学機器が搭載されており、露光時間とウェーハ全体のずれの発生を減らすことができます。高度なジオメトリ補正機能を使用して、ウェーハ全体のパターンを整列させ、正確なパターン形成を実現します。ステッパーには、光学ユニットの正確な整列と平準化のためのフルアパーチャ画像フィールド測定および調整システムが装備されています。これにより、迅速なフィードバックと調整が可能になり、ウェーハ全体の露出精度が保証されます。また、画像フィールド測定機は、ステッパーの光学ツールの動的平準化を可能にし、一貫して正確な性能を保証します。また、NIKON NSR S322Fは、耐久性と信頼性に優れたXYプラットフォームと、露光時やパターニング時にウェーハを固定するための高精度の光学エアベアリングアセットを備えています。これにより、ずれが軽減され、高精度なリソグラフィーが得られます。ステッパーには、アフェイスシフトアルゴリズムを使用してチップ全体の焦点を迅速に測定する超高速リアルタイムフォーカス検出モデルも装備されています。この装置は、露出前の焦点の迅速なフィードバックと調整を可能にし、誤差を軽減します。NSR S322Fはまた、ウェーハ全体でパターンの座標を移動してチップ全体で正確なアライメントを実現できるマルチロケーションアライメントシステムを備えています。ステッパーには、イメージングと光子エネルギー伝達を組み合わせた複合イメージングユニットがあり、ウェハ全体にパターンを形成します。また、ニコンNSR S322Fは、幅広いウエハフォーマットをサポートし、スペアパーツを装備し、使いやすい操作機を備えています。このツールは、故障率を低減し、歩留まりを最大化し、スループットを向上させるために、プロセスパラメータの自動調整と最適化を可能にします。結論として、NSR S322Fは高精度の半自動ウェーハステッパーであり、一貫した正確なリソグラフィ性能を提供するように設計されています。高度なイメージング技術とさまざまな機能を備えており、正確なアライメント、ダイナミックなフォーカシング、低レベルのエラーを保証します。ステッパーはまた使いやすいインターフェイスを備えており、さまざまなウェーハフォーマットと互換性があります。