中古 NIKON NSR S322F #293665226 を販売中
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ID: 293665226
ウェーハサイズ: 12"
Scanner, 12"
Wavelength: 193 nm
Lens-NA: 0.92
Exposure field: 26 x 33 mm
Reduction ratio: 1:4
Resolution: ≤ 65 nm
Single machine overlay: ≤ 2 nm
Mix and match overlay: ≤ 5 nm
Throughput: 300 mm
Lens data included.
NIKON NSR S322Fは、半導体製造の幅広い機能を提供する画期的なウェーハステッパーです。このステップおよび反復アライメント装置は、高解像度ウェーハステッパーアプリケーション用に設計されており、自動ウェーハリソグラフィの要件に特化して設計された、その種の最初のステッパーです。NIKON 「i」シリーズの光学系を採用しており、優れた界面平坦性、表面粗さ、高解像度イメージング機能を備えています。NSR S322Fは、最大200mmまでのウェーハサイズが可能で、現在ウェーハの製造に使用可能な最大径です。また、フルイメージキャプチャやステッチ、ブーストモード、フェーズフィル機能などの高度な機能を備えた4インチビジョンシステムも備えています。さらに、ADR (Automated Defect Review)ユニットを内蔵することで、出荷前にウェーハの欠陥や不整合を検出して修正することができます。NIKON NSR S322Fは、0。5マイクロメートルの位置合わせ精度で、高い幾何学的精度を有しています。これは、歪みや歪みに関連する効果なしに、大きな正確な形状のコンポーネントを生成することができることを意味します。さらに、8インチまたは12インチのマスクで1時間あたり最大900ウェハのスループットを提供し、0。4ミクロンの光学ビームサイズで最大0。5ミクロンの開口径を提供します。最後に、NSR S322Fはエネルギー効率の高い光源で設計されており、動作中の安定性と省エネルギーを実現します。このステッパーは、最適な分解能のための優れた温度制御を提供し、ユーザーは高温条件下でも簡単にマシンの焦点を調整することができます。さらに、それはまた、意図されたステッピングパラメータへの容易なアクセスを提供する集中制御ツールを含んでいます。これにより、ウェーハが最も効率的な方法で処理され、最適な性能と製品品質が保証されます。
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