中古 NIKON NSR S322F #293648642 を販売中
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ニコンNSR S322Fは、株式会社ニコンが開発した高性能ウエハステッパーです。この革新的なマシンは、さまざまな用途に最適な多数の機能を備えており、さまざまな業界に最適です。このステッパーは、新しい多軸フレームワークを使用して、高精度と再現性を発揮し、従来の機械装置よりもはるかに高いオーバーレイ精度で優れた画質を提供します。この最先端の技術は、従来のアライナーを使用しているスペース制限も取り除き、デバイスをはるかに小さなラボで使用することができます。フレキシブルオプティクスシステムにより、露光とイメージングのための異なるレンズ構成を切り替えることができ、多様な複雑なウエハパターンを可能にします。また、異なるレンズを組み合わせることで高精度な露出とイメージングを実現し、市場の他のステッパーよりも細かい解像度を実現します。このデバイスは、多くの安全機能も備えています。それはプロセスの間に可視および非表示ライトへのオペレータ露出を防ぐのを助ける平らな露出テーブルおよび自動露出タイマーが装備されています。露出テーブルはまた、汚染のリスクを最小限に抑えるのに役立ち、X軸とY軸に沿った空き領域で移動することができます。さらに、その非常に保護された露出チャンバーは、ステッパーに対する環境の脅威を回避するのに役立ちます。NSR S322Fはまた、高度な自動調整システムを使用しており、さまざまなパラメータを迅速かつ簡単に調整できます。これにより、最適なスループットを確保しながら、ウェーハの損傷を回避することができます。ステッパーにはさまざまなジョブ管理機能があり、ユーザーは特定のパラメータを設定してプロセスの進行状況を監視することができます。ニコンNSR S322Fは、さまざまな用途に適した幅広い機能を備えた先進的なウェーハステッパーです。最先端の光学系と安全システムを搭載し、他のモデルよりもはるかに高い精度と精度を実現しています。また、ジョブ管理機能や自動調整システムも多数搭載されているため、どのラボ設定でも非常に貴重なツールです。
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