中古 NIKON NSR S308F #9304337 を販売中

ニコンNSR S308Fステッパーは、集積回路の製造に使用される高度な半導体リソグラフィ装置です。ステッパーは、直径10インチまでの基板に対応できる大型フィールドプレートである3段階低減光学系を特長とし、高速で高精度なパターニングを実現する独自のアドバンスドスキャンシステムを搭載しています。このユニットは、8x10インチのスキャンフィールドサイズを持ち、正と負の両方のイメージモードでイメージングすることができます。NSR S308Fは、248nmから35nmまでの幅広い波長を利用しています。ステッパーは、i-line、 krypton fluoride （KrF）、第2世代ArFなど、さまざまな光源と互換性があります。また、優れたスループットを実現する低振動エアベアリングや、安定した性能を確保するウェハトランスポートツールなど、多くの先進的なイメージング機能を備えています。このアセットには、基板の簡単かつ効率的な取り扱いを可能にするいくつかの高度な自動化機能が装備されています。ウェーハアライメントモデル、素早い基板ローディングのためのクランピングゾーンを備えた真空チャック、スキャンステージシフト装置などがあります。自動レチクルローディング/アンロード機能により、パターンの迅速な切り替えと正確なパターン作成が可能で、優れたスループットと高い歩留まりを提供します。高性能ステッパーは、5nmの登録精度で正確なオーバーレイ登録と正確なエッジ配置を提供するように設計されています。また、オートフォーカス制御装置、EFG（電子フォースレンズ）装置、+/-0。5°C以内の温度精度を維持する高度なヒーター制御ツールなど、安定した条件を確保するための多くの機能を備えています。最後に、この資産は、低消費電力と低ノイズと熱の排出量で、環境に優しい運用を提供するように設計されています。要約すると、NIKON NSR S308Fステッパーは、半導体リソグラフィにおいて高い歩留まりと精度を実現するための優れた選択肢です。幅広い基板に対応し、効率的な取り扱いのためにさまざまな自動機能を備えています。NSR S308Fステッパーは、5nmの登録精度と環境に優しい設計により、あらゆる工程に精度と品質をもたらします。