中古 NIKON NSR S308F #9293213 を販売中

NIKON NSR S308Fは、集積回路（IC）やメモリチップなどの先端半導体デバイスの大量生産に使用されるハイエンドウェーハステッパーです。非常にコンパクトで軽量なボディデザインを特徴とし、超高画質の直接基板製作に最適です。超高解像度リソグラフィ用の専用プロフェッショナルツールであり、革新的で強力で信頼性の高いパフォーマンスを提供します。NSR S308Fは、最先端の光学部品で構成された先進的な光学機器を備えており、全分野でナノメートルスケールの解像度を提供します。ニコンNSR S308Fが採用したオプティカルゾーンイメージング（OZI）システムは、ステッパーの解像度をさらに向上させます。それは速く、信頼できるスキャンシフトの速度は1um線形および0。5um正方形パターンまで作り出すことができます。NSR S308Fの5段階倍率ユニットは、広範囲の露光倍率で、小型および大型のフィールドサイズを簡単に切り替えることができます。NIKON NSR S308Fは、リアルタイム光学スキャン制御、複数露光アルゴリズム、ウェーハ歪み補正、オートフォーカスなどの高速、柔軟、高度な制御機能を提供します。機械内自動調整機能により、正確なオーバーレイ精度を実現します。NSR S308Fも同様にヘビーデューティ・アライメント機能を備えており、一般的なフラットネス要件に合わせて設計された大型ウェハサポートフラットを備えています。ビームシェーピングプレートとアブソーバの様々な材料を搭載し、様々な光学ツールパラメータを簡単に最適化するための柔軟なプラットフォームを提供します。独自のエアシャワーアセットにより、0。7マイクロメートルまでの粒子サイズのクリーンな環境に配慮した基板の加工が可能です。また、NIKON NSR S308Fは、1時間あたり最大2500ウェーハの高速生産を実現しています。また、高倍率の視野で1nm以上の最高画質を確保するために、高速かつ正確なオートフォーカスを表示します。大きなフラットモニターと簡単なアクセスボタンレイアウトにより、シンプルで直感的な操作が可能です。NSR S308Fは、最先端の技術設計により効率と歩留まりを効果的に向上させることができる高度で信頼性の高いリソグラフィーモデルです。