中古 NIKON NSR S308F #293821681 を販売中

ニコンNSR S308Fは、半導体製造業界の高精度リソグラフィ用途向けに設計されたウェハステッパーです。1枚のウェーハに複数のレイヤーを1回の露出で印刷できる先進的な光学機器を搭載しています。このステッパーは、高精度製造や複雑なレイヤーオーバーレイ用のファインパターニングなど、すべてのレイヤーで正確に制御された画質を提供します。NSR S308Fは、ニコン独自のIn-Column Source Scanning System （ICSS）で構築され、リソグラフィ工程において最高の精度を発揮します。ICSSは、特殊なコラムソースを使用して光を原子化し、その均一性と精度を最大化します。これにより、さまざまな画像タイプのウエハ上に高精度で高解像度の構造を作成することができます。ステッパーには、XY軸で100mm/sec、 θ軸で20 °/secの露出とウェーハ処理速度を実現する高速ウェーハステージが装備されています。また、最先端の振動制御ユニットを搭載し、C2C max〜700nmを最小限に抑え、優れた画像処理を実現しています。ニコンNSR S308Fには、リソグラフィの精度を向上させるミラーアライメントマシンも内蔵しています。このツールは、個々のミラーの状態と光学アセットの全体的なアライメントを監視します。このモデルはまた、光学系の最適なアライメントのためのレーザービームの自動調整を提供し、ミスアライメントエラーを最大3 μ mから許容0。1 μ mに低減します。また、ステッパーは、ウェーハ上の画像の揺れを防ぐスティフフレーム構造を備えています。フレームはまた、全面的な光収差を低減し、コントラストを改善する高速熱放散をサポートしています。これにより、ステッパー全体のアーク時間が短縮され、生産効率が向上します。NSR S308Fは、半導体製造業界のリソグラフィ用に設計された高精度ウェハステッパーです。ICSSと組み込みのミラーアライメント装置を使用して、高度な光学系を備え、正確な画質を維持します。また、高速ウェーハステージとスティフフレーム構造を採用し、生産効率を高めています。